【Live配信セミナー 4/15】半導体製造用薬液の不純物対策

 ＜セミナー　No.604213＞

【Live配信セミナー】

半導体製造用薬液の不純物対策
-フィルター／イオン交換樹脂の使い方、微量金属分析-

★ 微量金属不純物、パーティクルを徹底的に除去するために！

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■講師 

１．日本インテグリス(同)　フォトアプリケーション開発部 　フォトアプリケーションエンジニア　三浦こずえ 氏

２．東レ(株)　地球環境研究所　主任研究員　峰原 宏樹 氏

３．三菱ケミカル（株）ウェルネス技術部　分離材技術グループ　主任研究員　清水 由貴 氏
４．室町ケミカル(株)　化学品事業部　化学品1部　担当部長　出水 丈志 氏
５．ローツェイアス(株)　代表取締役　川端 克彦 氏

■聴講料

１名につき６６，０００円（消費税込、資料付）

１社２名以上同時申込の場合１名につき６０，５００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■Live配信セミナーの受講について
・本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。

・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test

・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。

・パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。

・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。

・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。

・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

プログラムあああああああああああああああああああああああああああああああああああああ

【10:00-11:10】
１．半導体製造プロセスにおける濾過、分離
日本インテグリス(同)　フォトアプリケーション開発部 　フォトアプリケーションエンジニア　三浦こずえ 氏
　
１．薬液中に存在する汚染物質
　1.1 薬液中における汚染物質の種類
　1.2 汚染物質の由来
　1.3 汚染物質の及ぼす影響

２．フィルタの基礎
　2.1 ろ過膜の定義と種類
　2.2 薬液用フィルタの材質と適合性
　2.3 薬液用フィルタの種類と役割

３．シービングフィルタについて
　3.1 シービングフィルタとは？
　3.2 粒子除去性能の評価方法
　3.3 粒子除去の具体例

４．ノンシービングフィルタについて
　4.1 ノンシービングフィルタとは？
　4.2 吸着性能の評価方法
　4.3 吸着効果の具体例

５．金属除去フィルタについて
　5.1 金属除去フィルタとは？
　5.2 薬液中におけるイオン性物質の挙動
　5.3 金属除去フィルタの性能評価方法
　5.4 金属除去の具体例

【質疑応答】

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【11:20-12:30】

２．中性分子高除去RO膜の開発と半導体向け超純水製造への応用
東レ(株)　地球環境研究所　主任研究員　峰原 宏樹 氏
　
【講座の趣旨】
RO膜の基礎と半導体向け超純水製造における要求および高性能化に関して、分析技術・膜技術の観点から紹介する。

１．逆浸透（RO）膜とは
　1.1 水処理膜の種類と分離対象
　1.2 超純水製造におけるRO膜

２．超純水製造向けRO膜の開発
　2.１ ひだ構造制御
　　(1)RO膜構造と設計指針
　　(2)表面・断面構造の解析手法
　2.２ 孔構造制御
　　(1)ポリアミド膜中の水の状態解析
　　(2)サブナノ孔構造の可視化と制御

【質疑応答】

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【13:10-14:20】

３．イオン交換樹脂の種類、特徴と半導体向け超純水精製への応用
三菱ケミカル（株）　ウェルネス技術部　分離材技術グループ　主任研究員　清水 由貴 氏
　
１．イオン交換樹脂の種類と特徴
　1.1 イオン交換樹脂の基本構造
　1.2 イオン交換樹脂の種類と分類

２．イオン交換樹脂による金属・イオン除去
　2.1 イオン交換樹脂による金属・イオン吸着のメカニズム
　2.2 イオン交換樹脂による金属・イオン除去

【質疑応答】

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【14:30-15:40】

４．イオン交換樹脂による半導体製造で用いる超純水製造、有機溶剤からの金属除去
室町ケミカル(株)　化学品事業部　化学品1部　担当部長　出水 丈志 氏
　
１．はじめに
　1.1 イオン交換樹脂の解説
　1.2 イオン交換樹脂の用途

２．イオン交換樹脂による金属吸着
　2.1 イオン交換樹脂・キレート樹脂の種類
　2.2 イオン交換樹脂の選択性
　2.3 キレート樹脂による金属吸着
　2.4 金属除去の評価事例

３．半導体製造プロセスにおける超純水製造
　3.1 半導体製造プロセスにおけるイオン交換樹脂の必要性
　3.2 高純度イオン交換樹脂
　3.3 金属除去の評価事例

【質疑応答】

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【15:50-17:00】

５．半導体製造ラインにおける薬液中の金属不純物分析
ローツェイアス(株)　代表取締役　川端 克彦 氏
　
１．半導体製造で使用される薬液の種類および金属不純物の形態

２．ICP-MSの原理
　2.1 分子イオン、同重体イオン干渉の除去技術
　　(1)シールドトーチおよびクールプラズマ
　　(2)コリジョン・リアクションセル
　　(3)MS/MS
　2.2 ICP-MSの試料導入系の選択
　2.3 各薬液分析に必要なチューニング条件
　2.4 イオン性および粒子状不純物分析の違い

３．極微量分析試料の調製時の注意点
　3.1 ハンドリングによる汚染の避け方
　3.2 容器・器具からの汚染の低減方法
　3.3 検量線用標準溶液の液性による影響

４．分析の全自動化による汚染の低減
　4.1 オンライン自動標準液添加装置
　4.2 自動希釈機能付きオートサンプラー
　4.3 オンライン薬液中金属不純物分析システム

５．各種薬液の分析例

【質疑応答】

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