【Live配信 or アーカイブ配信】XPS,AES,TOF-SIMS分析の要点と実践ノウハウ

＜セミナー　No.701403＞

XPS,AES,TOF-SIMS分析の要点と実践ノウハウ

～分析手法の使い分け、試料の取り扱い、データ解釈～

★各分析手法の特徴、分析機器の使い方、データの見方・読み方まで

　実際の分析事例をもとに表面分析を適切に行うための考え方やテクニックを解説！

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■講師

InR Labo.　眞田 則明 氏

■聴講料

１名につき４９，５００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４４，０００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
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・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
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・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

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【この講座で学べること】

・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の原理と基礎知識

・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の特徴と使い分け

・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の使い方

・表面分析結果解釈の実例

【講座概要】

表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食など多様な機能に関与しています。特にXPS、AES、TOF-SIMSといった代表的な表面分析は、固体表面の数nm（数十原子層、分子層）の組成や状態を明らかにし、固体最表面および界面を詳しく調べることができます。ただし、試料の取り扱いやデータの解釈には細心の注意が必要です。

本講座では実践的な表面分析のノウハウを述べるとともに、材料分析の事例を通して、表面分析を適切に活用するための視点や判断の要点を明らかにします。

１．固体表面分析（XPS,AES,TOF-SIMS）の基礎

　1.1 表面数原子・数分子層の重要性

　1.2 なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?

　1.3 表面分析法の比較

　1.4 他の分析手法と比較した特徴

２．表面分析をはじめる前に

　2.1 試料の観察

　2.2 表面分析のための試料の取り扱い

　2.3 分析時の表面汚染を避けるテクニック

３．XPS分析

　3.1 XPS分析の原理

　3.2 XPS分析の特徴

　3.3 ワイドスペクトル、元素の同定

　3.4 ナロースペクトル、定量

　3.5 化学状態分析

　3.6 深さ方向分析

　3.7 XPSの分析事例

４．AES分析

　4.1 AES分析の原理

　4.2 AES分析の特徴

　4.3 チャージアップへの対応

　4.4 スペクトル測定、元素の同定

　4.5 マップ測定

　4.6 深さ方向分析

　4.7 AESの分析事例

５．TOF-SIMS分析

　5.1 TOF-SIMS分析の原理

　5.2 TOF-SIMS分析の特徴

　5.3 チャージアップへの対応

　5.4 スペクトル測定、イオンの同定

　5.5 マップ測定、異物の観察

　5.6 TOF-SIMSの分析例

６．表面分析の組み合わせとデータ処理

　6.1 金属材料の分析

　6.2 電子材料の分析例

　6.3 有機高分子材料の分析例

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