ウェットエッチングによるPSS　(Patterned Sapphire Substrate)でLED業界の未来を変えるサファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」

弊社で以前から提唱していた高温のウェットエッチングプロセスを日本に普及させる為、IMTEC社のサファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」及び試作品の研究開発に小型で簡便な卓上型サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「XE-LAB」の本格的な販売活動を開始しました。

現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしています。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができますが、製造には長時間を要し、スループットには限界があります。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできません。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能です。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになります。
この工程を実現できるのが300℃での高温でのエッチングが可能なIMTEC社のサファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」です。