最大4つのラインを同時測定（1セル最大5種の混合薬液）。枚葉式洗浄装置の薬液管理に最適［クラボウ］

No.1522　2012年11月14日

● 1台で最大4つの循環ラインを高速・同時にリアルタイム測定

半導体のFEOL工程やLCD製造工程における薬液の濃度管理の複雑化に伴い、
1枚ごとに洗浄する枚葉式洗浄装置の導入が進んでいます。
枚葉式洗浄装置のスプレー直前のPFAチューブに測定セルを挟み、1台で最大
4つの薬液循環ラインの同時リアルタイム測定を可能にしたのが、クラボウ
様のインライン薬液濃度測定装置「ケミカライザー TECH4ch」です。


　　※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※

　　　　　　　　複数ラインの薬液を高速・同時測定
　　　　　「ケミカライザー TECH4ch」カスタマイズにも対応

　　※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※


■　4セル同時測定（1セルあたり最大5種類まで、混合薬液を測定）
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
「ケミカライザー TECH4ch」は、枚葉式洗浄装置のスプレー直前のPFAチュ
ーブに測定セルを挟み、薬液濃度を測定します。

測定対象となる薬液は、「フッ酸」などの単成分液や、「アンモニア／過酸
化水素」「塩酸／過酸化水素」の混合薬液。1セルあたり、最大5種類までの
混合薬液を測定できます。

HFやSC-1/2など種類の異なる薬液の同時測定が可能となり、コスト削減にも
貢献します。半導体、FPDメーカーや洗浄装置メーカーに最適で、ニーズに
応じたカスタマイズにも対応しています。


■　2次側ベント構造のカプセルフィルタで歩留りを改善
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
半導体製造工程で使用される純水や薬液には、微小なパーティクルやエアが
含まれており、歩留り低下の要因となっています。この両方を解決できるの
が、「クランフィル N」です。
2次側ベント構造のカプセルタイプの新構造フィルタで、ろ過面積は、
1.0～2.4m2に対応します。

「クランフィル」シリーズは、同社が世界で初めて開発した、ろ材・サポー
ト材のすべてがPTFEまたはPFAで構成されたフィルタです。

優れた耐薬品性を備えているだけでなく、0.02～10μmまでのボアサイズと
豊富な品揃え。ラインにあった最適な膜面積や孔径を選ぶことができます。


同社は、「ケミカライザー TECH4ch」や「クランフィル」シリーズを、12月
5日～7日に開催される『セミコン・ジャパン2012』に出展。各製品の性能を
実際にご覧いただけます。技術的なご質問にもお答えします。

ほかにも、スーパーエンプラフィルムや薬液供給装置、撹拌脱泡装置、各種
検査装置などを供給。エレクトロニクス業界の各プロセスに最適なソリュー
ションを提案しています。お気軽にご相談ください。