球面収差補正器付STEMで像分解能0.136nmの高分解能観察・高感度組成分析サービス。[日立パワーソリューションズ］

No.2189　2016年11月14日

● 材料やデバイスの結晶構造、組成、化学結合状態を高いレベルで測定

株式会社日立パワーソリューションズ様では、レンズの球面収差を補正でき
る球面収差補正器を搭載した、走査透過電子顕微鏡（STEM）による、像分解
能0.136nmの高分解能観察・高感度分析サービスを行っています。

材料やデバイスの結晶構造、組成、化学結合状態を高いレベルで測定ができ
ます。従来の測定サービスより、さらに高いレベルの分析結果の提供が可能
になりました。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

各種材料の組織観察や析出物の形態分布、介在物の種類分布を調査
STEMによるハイレベルな高分解能観察・高感度分析サービス

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■　各種構造材や電子部品の解析・評価・観察を実施
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高分解能観察では、原子レベルの明視野・暗視野STEM像、二次電子像を取得
できます。

また、大口径100mm2SDD検出器を搭載したエネルギー分散型X線分析装置
（EDX）による微小領域や微量元素の分析が可能。さらに、エネルギー分解
能(0.3eV)を有する電子エネルギー損失分光法(EELS)による精度の高い組成
分析や化学結合状態の評価を行っています。

【高分解能観察と高感度分析事例】
　・環状暗視野STEM像によるSi原子列の0.136nm間隔で並ぶダンベル構造の
　　観察
　・サブナノメートルの電子線プローブによる原子配列の可視化
　・燃料電池などに用いられるコアシェル構造を持つ貴金属触媒粒子の
　　EDXマッピング分析
　・各種カーボン材料のEELS分析
　・STEM-EELS分析による原子レベルの分解能での組成や化学結合状態の
　　情報取得
　・大口径SDDとの組み合わせによる原子レベルのEDX分析
　・環状暗視野STEM像で観察された原子列についての組成情報の把握


■　半日・一日単位の立会い分析が可能
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半日・一日単位の立会い分析が可能です。熟練したオペレーターの操作で、
試料形状を確認しながら分析箇所や測定内容の指定ができ、当日測定した
データは即日お持ち帰りいただけます。

専門スタッフが、高度な技術と豊富な経験でお客様のご要望にお応えします。


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