■気密封止パッケージ内部ガス分析（IVC）
半導体の信頼性を左右する大きな要因の1つが微量水分です。この試験では、セラミック・メタル・ガラスなどにより封止された中空パッケージ内の封止ガス中に含まれる水分やガス成分の定性・定量を行います。主な対象は、電子デバイス（化合物半導体・レーザーダイオード・水晶発振器・SAWフィルタなど)、放電管、ランプなどです。

【定性・定量可能成分】
水分、アルコール、水素、酸素、ヘリウム、アルゴン、メタン、二酸化炭素（炭酸ガス）、アンモニア、フルオロカーボン、ネオン、炭化水素、窒素、クリプトン、一酸化炭素、キセノン