PHT株式会社

PHT株式会社の事業概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

＜半導体搬送システム事業 ＞
■半導体用ウェーハ搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売
■液晶用ガラス基板搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売

＜半導体洗浄装置事業 ＞
■ウェーハ自動剥離装置
■ウェーハ自動洗浄装置
　ワイヤーソー後洗浄、ラップ後洗浄、アルカリエッチング洗浄、 熱処理前洗浄、熱処理後洗浄、研磨後洗浄、FINAL洗浄 など関連装置の開発設計・製造・販売