株式会社昭和真空

水晶振動子用真空蒸着装置 & 関連装置
移動電話などの通信機器から時計、パソコン、家電製品にいたるまで、水晶振動子の需要は今や高まる一方です。その製造工程のキーテクノロジーとなるのが、水晶の薄片の表面に金属の薄膜を形成する真空蒸着技術。昭和真空はこの分野のパイオニアとしてベース蒸着用から周波数調整用まで水晶振動子用真空蒸着装置を豊富にラインナップしています。また、コンピュータ制御による膜厚コントロールの自動化等の使いやすさも徹底的に追求し、ユーザーの生産性の向上に大きく貢献しています。

光学用真空蒸着装置
カメラや眼鏡レンズのコーティング、液晶ビジョンの多層膜フィルター、レーザーディスクの光学式ピックアップ、光通信用の分波器など、光学やオプトエレクトロニクスの分野でも真空技術は大きな役割をはたしています。昭和真空はここでも豊富な実績を誇り、より高度なニーズに対応する多層膜真空蒸着装置をはじめ信頼性の高い装置を開発。インラインによる自動化にも積極的に対応し、ユーザーからの期待に応えています。

電子部品用真空蒸着装置 & スパッタリング装置
超LSIに代表される半導体、液晶ディスプレイ、オーディオ・ビデオ用蒸着テープ、ハードディスク、光ディスク等、日々急速な進歩を遂げるエレクトロニクスの分野では、真空を利用した高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっています。昭和真空では、そうした分野で用いられる真空蒸着装置、スパッタリング装置を各種開発し、高度化・多様化するユーザーニーズに積極的に応えています。
製品紹介
● マルチチャンバー・プラズマシステム SPM-Series

一般産業用真空蒸着装置 & イオンプレーティング装置
自動車部品、機械工具、装飾品、玩具、家庭電器製品などの広範な産業分野でも昭和真空の技術は生きています。これらの分野で活躍するのが、プラスチック・ガラス・金属等の表面に金属の高品質な膜を形成するイオンプレーティング装置や真空蒸着装置です。とくに眼鏡フレームや金属切削工具に用いられる耐久度の高い硬い膜の形成を可能にするイオンプレーティング装置では、先駆的な存在として高い信頼と評価を得ています。また、量産を目的とする大型全自動化システムも充実しています。

研究用プラズマ重合装置・小型真空蒸着装置・各種モニター
先端技術開発の最前線である企業の研究開発部門や大学、各種研究機関でも、真空装置は不可欠なものとなっています。昭和真空では、現在各方面で注目されているプラズマ重合のための多目的実験装置をはじめとし、各種実験用小型真空蒸着装置・スパッタリング装置、光学式膜厚計、光学モニターなどの豊富な機種をラインナップし、21世紀にむけての先端技術開発に大きく貢献しています。