タカノ株式会社

新製品のＡＳ−７Ｂ−ＷＲは最大走査範囲を７００μｍまで可能としたＡＦＭ（原子間力顕微鏡）です。従来製品においては１００μｍ程度の走査範囲が限界であったため、ＡＦＭの欠点としての測定視野が狭い問題がありました。本製品では画期的に測定視野が拡がり、従来測定ができなかった大きなパターン形状、段差、表面粗さ等を高分解能・高精度で測定可能になります。また弊社ＡＦＭ装置は大型液晶基板をはじめとする大型サンプルステージを搭載したＡＦＭに多数の実績があり、最大で２２００ｘ２５００mmサイズまで対応可能です。また運用ニーズに応じてサンプルのローダー機構、位置決め、測定から解析、結果出力までを完全自動化したタイプもあります。従来のＡＦＭは極めて微少な領域を高分解能で表面観察する、研究・開発用途としてのイメージがありましたが、本製品はそれを払拭し、品質管理、製造工程でオペレータが特別の知識を必要とせずに簡単に操作することができます。また１５０ｘ１５０ｍｍサンプルステージの汎用ローコストタイプもラインアップしています。