株式会社アルバック

○半導体デバイスの製造プロセスに使われている各種装置・機器
マルチチャンバー成膜装置CERAUS Ziシリーズ
イオン注入装置 IWシリーズ
高密度プラズマエッチィング装置NLD-8000/800
酸化・拡散・減圧CVD装置 V12シリーズ
ドライエッチング装置 APIOS NEシリーズ
枚葉式スパッタリング装置MLX-3000N

○各種平面表示デバイス（ＦＰＤ：Flat Panel Display）ハードディスク・光磁気ディスク・ＤＶＤなどの製造用に使われている各種装置・機器
TFT-LCD用枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ α-Si(アモルファスシリコン)
TFT-LCD用枚葉式スパッタリング装置 SMDシリーズ
PDP用MgOインライン蒸着装置ECHシリーズ
光磁気・相変化光ディスク枚葉式スパッタリング装置 SMO-01S/01PC
有機EL素子作製装置 OELシリーズ
バッチ式真空蒸着装置EBXシリーズ

○金属・機械・自動車・食品・化学・医薬品の製品の製造用に使われている各種装置・機器
多室型真空真空熱処理 FHシリーズ
凍結真空乾燥装置 DFシリーズ
巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ
包装材料・装飾品向け:EWA/EWBシリーズ
コンデンサ製造向け:EWC/D/E/Fシリーズ
磁気テープ向け:EWHシリーズ
多目的開発向け:EWJシリーズ
イオンプレーティング装置IPBシリーズ

○教育機関や研究所・一般企業研究所で使用されている研究開発向け超高真空装置・機器
GMR（巨大磁気抵抗）ヘッド・極薄膜作製用ヘリコンスパッタリング装置　MPS-SV-6CH 超高真空ヘリコンスパッタリング装置　MUEシリーズ
超高真空スパッタイオンポンプ　PSTシリーズ
アウトガステスター TDS-300

○真空に関連する検査機器・評価機器・システム構成機器（バルブ・真空計・真空ポンプ・関連科学計算ソフトウエアなど
表面形状・段差測定器Dektakシリーズ
ヘリウムリークディテクター HELIOT(ヘリオット)シリーズ
反応性プロセスガスモニタREPROS(リプロス)
科学グラフ・データ解析ソフト ORIGIN
ドライポンプ PDR-Cシリーズ
各種真空ポンプ・排気セット
各種真空バルブ
各種真空計