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ログイン大阪府にある 上野金属株式会社の会社情報です。
事業概要
、製品・技術・サービス
、設備紹介
などを掲載しています。
上野金属株式会社の事業概要
除害装置
真空装置
電気炉
昇降式炉
乾燥機
操作盤
記録計
上野金属株式会社の製品・技術・サービス
半導体製造関連排気ガスの高性能加熱分解装置
本装置は、小・中量の半導体製造関連排気ガス処理を効率よく行え、既設除害装置とも併用しやすくランニングコストの低減も期待できる。構造は、酸化加熱分解と乾式吸着の両システムを基本としている。装置に導入された排気ガス中にあらかじめ空気を混合し酸化、加熱器にて酸化促進、分解を行い、ほとんどの水素化物を除害する。この後高温のガスを冷却し、酸化により生じた副生成物はフィルターにて捕集する。下流には乾式除害筒を配し、残留ガスがある場合は除害させる。乾式除害筒は、加熱システムの不具合メンテナンスなどにも対応させるシステムとしている。
本装置は、小・中量の半導体製造関連排気ガス処理を効率よく行え、既設除害装置とも併用しやすくランニングコストの低減も期待できる。構造は、酸化加熱分解と乾式吸着の両システムを基本としている。装置に導入された排気ガス中にあらかじめ空気を混合し酸化、加熱器にて酸化促進、分解を行い、ほとんどの水素化物を除害する。この後高温のガスを冷却し、酸化により生じた副生成物はフィルターにて捕集する。下流には乾式除害筒を配し、残留ガスがある場合は除害させる。乾式除害筒は、加熱システムの不具合メンテナンスなどにも対応させるシステムとしている。
企業プロフィール
- 企業名
- 上野金属株式会社
- 企業名かな
- うえのきんぞく
- 住所
- 〒573-0071
大阪府枚方市茄子作5-991 - 代表者名
- 代表取締役 上野淳人
- ホームページ
- 上野金属株式会社のホームページ