【Live配信 or アーカイブ配信】PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性

＜セミナー　No.510402＞

PFAS規制の動向と

半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性

★EUの規制案の検討状況を中心に海外・国内のPFAS規制の最新動向を解説

　半導体製造でPFASが使われている工程、処理方法の現状、そして代替可能性を探る

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■講師

(株)ISTL　代表取締役社長　礒部 晶 氏

■聴講料

１名につき４９，５００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４４，０００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■セミナーの受講について
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・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
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・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

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【本セミナーで学べること】

・PFASとは何か

・国内外のPFAS規制条約法令の動向

・PFASが用いられる半導体工程の詳細

・半導体PFAS代替の動向

・半導体工場の排水処理システム

【講座概要】

PFASについてはニュースでもしばしば取り上げられるようになり、一般の関心も高くなっている。POPs条約で規定されている一部の有害なPFASについては日本国内では化審法により規制されている。一方、EUではREACH規則による全面的な使用制限が検討されており、今後の動向に注目が集まっている。本講ではPFAS規制の海外国内の動向、特にEUの包括規制案の動向について解説する。また、PFASは様々な用途に用いられ、半導体製造工程でもその応用は多岐にわたっている。PFASが用いられていると考えられる工程の内容とその代替可能性、排水処理方法の現状等について解説する。

１．PFASとは？

　・PFASの定義

　・国内・海外のPFAS関連ニュース

　・製品ライフサイクルとPFASの人体・環境への影響

２．PFAS規制の動向

　・ストックホルム条約

　・国内の規制～化審法、水道法

　・欧州の規制～REACHの包括規制案の状況

　・米国の規制

３．PFASの分析技術・処理技術

　・分析方法～LC-MS／MS、GC-MS／MS

　・総量分析

　・焼却処理

　・その他の処理方法

４．半導体産業への影響

　・半導体とは？

　・半導体製造プロセス

　・3Mショック

　・PFAS使用工程

　・ドライエッチング～チラーの冷媒

　・リソグラフィー～フォトレジストの添加剤、ペリクル材料

　　・ウエットエッチング～エッチング液の添加剤

　　・超純水配管

　　・後工程部材～モールド材、DAF、パッケージ基板材料

　・半導体工場の排水・廃液処理システム

　・排水管理基準

　・半導体材料・部材メーカーの対応状況

　・半導体企業の対応状況

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