【Live配信 or アーカイブ配信】半導体洗浄における洗浄機内の流れとメカニズム

＜セミナー　No.601406＞

半導体洗浄における

洗浄機内の流れとメカニズム

★洗浄プロセスの流れの可視化画像から汚れの除去メカニズムを理解し、

　「洗浄効果を高める考え方」と「困った時の対策手法」を学ぶ

-----------------------------------------------------------------------------------------------

■講師

反応装置工学ラボラトリ　代表　羽深 等 氏

■聴講料

１名につき５５，０００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４９，５００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test
・開催数日前または配信開始日までに視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
　セミナー開催日時またはアーカイブ配信開始日に、視聴サイトにログインしていただきご視聴ください。
・出席確認のため、視聴サイトへのログインの際にお名前、ご所属、メールアドレスをご入力ください。
　ご入力いただいた情報は他の受講者には表示されません。
・開催前日または配信開始日までに、製本したセミナー資料をお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
　お申込みが直前の場合には、開催日または配信開始日までに資料の到着が間に合わないことがあります。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
　複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

プログラムあああああああああああああああああああああああああああああああああああああ

【本講座で学べること】

・「清浄」の定義は、「洗浄」の目的と対象物により異なること

・流れのイメージと観察・計算方法の活用

・先端材料の洗浄方法を組み立てる際に考えるべきこと

・表面をキレイにするための流れの取扱い方

・生産プロセスに共通して潜在する移動現象（流れ・気泡などの動き）と改善方法

・困った時に真っ先に点検すること

【講座概要】

半導体の開発と生産には洗浄技術が必須であり、洗浄装置とプロセスを理解している技術者は様々な課題を解決できます。しかし、その育成は容易ではありません。そこで、半導体洗浄に初めて取り組む場合を前提にして、薬液の働きに関する基礎と最新の洗浄方法を最初に紹介します。その次に、半導体生産工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基本現象として「流れ」に着目します。そこでは、具体的に枚葉式洗浄装置とバッチ式洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点、および、改善するための考え方を知ることを目指します。終わりには、困ったときの視点と対処方法について触れます。

１．洗う理由：汚れの種類と由来

２．半導体洗浄の４要素:温度、時間、化学、力学

３．半導体の洗浄に特有のこと

４．先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）

５．半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）

　5.1 表面の現象とプロセス（付着・脱離・引き剥がす・乾かす）

　　5.1.1 表面現象、薬液洗浄と物理的洗浄

　　5.1.2 洗浄後の表面、乾燥とパターン倒れ

　　5.1.3 ドライ洗浄と超臨界流体洗浄

　5.2 流れ、熱、拡散、反応（洗う＝汚れを動かす操作）

　5.3 身近な流れの可視化観察例

６．洗浄機内の流れと反応

　6.1 枚葉式洗浄機

　　6.1.1 水の流れ（観察動画と計算例、回転数、ノズルスイング）

　　6.1.2 化学反応の例（酸化膜エッチング速度の数値解析事例）

　6.2 バッチ式洗浄機

　　6.2.1 水の流れ(観察動画と計算例)

　　6.2.2 水流を最適化した事例（水噴出角度、槽内循環流）

　　6.2.3 ウエハ挿入と取出しの際の汚れの付着と脱落

　　6.2.4 上下に揺動する理由

　6.3 超音波の働き、水と気泡の動き（観察動画）

　　6.3.1 超音波出力と水の動き

　　6.3.2 ウエハ支持棒の周りの気泡の動き

　　6.3.3 超音波洗浄槽の工夫、最適化の要点

７．洗浄の評価方法（実験・計算・観察）

８．狭い空間の洗浄

　8.1 液の侵入と濡れ（親水性・疎水性）

　8.2 狭い空間における反応の速度

　8.3 微細パターンの洗浄面積（パターン表面積≫見かけのウエハ面積）

９．まとめ：困った時の視点と対策

　9.1 洗えない時

　9.2 洗えるが残る時

セミナーの詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

２名以上同時にお申込される場合、２人目以降の方の情報は【弊社への連絡事項がございましたら、こちらにお書きください】欄にご入力をお願いいたします。