放電・レーザ併用ハイブリッド精密微細加工システム（共同研究開発）

放電加工・レーザ加工併用ハイブリッド精密微細加工システムの研究結果

株式会社化繊ノズル製作所、

岡山大学工学部　特殊加工学研究所

• 各種材料のレーザ加工用最適波長の選定および加工条件の選定
• 微細放電加工用電源の検討および加工条件の選定
• ハイブリッド加工機の構築および加工実験

株式会社橋川製作所

• 加工穴の性状および加工面の評価

表面と裏面で顕微鏡測定を行ない、真直度の精度検査を実施した。

放電加工面の内面性状はワイヤーカットで２分割カットし、面粗度と表面性状の測定検査を実施した。

岡山県工業技術センター

• レーザによる下穴と放電加工機との軸合わせ装置の試作

光学式測定法などの位置決め技術について検討し、実用機に搭載する軸合わせ装置の開発ならびに評価を行い、微細加工の高精度化、高品位化を図る。

放電加工・レーザ加工併用ハイブリッド精密微細加工システム

Φ0.1ｍｍ以下でアスペクト比１０倍以上の小径深穴の高速対応を図るシステム提案であるが、微細穴の下穴なので、同軸同芯度が完璧でないと、良い物が出来ないため、現時点ではレーザの下穴を狙った位置に垂直に照射するのは非常に厳しいので、Φ0.3～Φ0.5程度のもう少し大きい穴の下穴としてしか活用が難しいことが明らかとなった。