装置名aXパッタ方式 基板ホルダーu血喆ェ布スパッタ源 基板加熱 逆スパッタ反応スパッタ スパッタ用電源 ＣＦＳ-４ＥＳ サイドスパッタ φ200mm u}10%位 マグネトロン式 MAX300℃ 可能  可能 RF MAX 500W RF MAX 500W ＳＲＶ-４３００ aXパッタアップ φ320mm u}10%位 マグネトロン式 MAX300℃ 可能  可能 RF MAX 500W RF MAX 500W ＳＲＶ-４３１０ aX