高輝度・微小焦点のX線検査装置により透過・加熱・CTの受託検査［東研X線検査］

No.1021　2010年02月08日

●　X線検査装置による非破壊検査受託サービス

東研X線検査株式会社様では、世界最高の分解能を持つ高輝度・微小焦点のX
線検査装置により撮像した、高解像度・高品質の画像データを提供。同社が
行っている透過・加熱・CTのX線検査受託サービスをご紹介します。


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　　　　　　　　高解像度・高品質のX線画像データを提供
　　　　東研X線検査「X線検査装置による非破壊検査受託サービス」
　　　
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■　破壊検査の前に有効な高分解能のX線非破壊検査
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微小焦点のX線源と高精度ステージの組み合わせで、高倍率・高分解能の非
破壊検査が行えるX線検査装置。中でも、直径400mmの大型ステージを搭載し、
加熱とCTも対応できる汎用型X線検査装置が＜TUX-3200＞です。

高密度化が進む半導体・電子部品の非破壊検査に最適で、実装基板や製品を
カットせずに60度までの傾斜をつけて透過観察を行うことができます。ボン
ディングワイヤの断線やクラック検査、高機能材料内の異物検査などの欠陥
検査に有効です。


■　X線CTにより多方向からの断面や立体構造を観察
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試料の断面研磨を行うことなく、断面と立体構造を観察できるX線CT。ベル
ギーのスカイスキャン社との共同開発により、1μm以下の空間分解能を実現
し、高密度材料の構造解析を可能にしたナノフォーカスX線CT装置が
＜TOHKEN-Sky Scan2011＞です。

樹脂やカーボンといった軽い材料の断面や3次元構造を高分解能・高コント
ラストの画像で観察できます。またナノフォーカスX線CTは、低電圧で高輝
度撮像が可能なため、生物試料の微細構造観察においても、効果的です。


高分解能X線検査装置のラインアップにより、材料の微細な構造解析から大
型基板の不具合検査、加熱しながらの内部観察など、幅広いニーズに対応で
きるX線検査受託サービスを行っておりますので、お気軽にご相談・お問い
合わせください。