世界初のオールフッ素樹脂フィルターや濃度測定装置で薬液管理を提案［クラボウ］

No.1338　2011年11月17日

●　世界初のオールフッ素樹脂製フィルターを開発

半導体・LCD製造工程で使用される薬液には、微小なパーティクルが含まれ
ています。ウェーハの大口径化や配線の微細化に伴い、その捕捉・除去や、
薬液の濃度測定など、薬液の管理にお困りではないでしょうか。
そこで、クラボウ(倉敷紡績株式会社)様のオールフッ素樹脂製のフィルター
『クランフィル』と薬液濃度測定装置『ケミカライザー』をご紹介します。


　　※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※

　　　　　　　半導体・LCDの製造工程向けに、薬液周りの
　　　　装置用材料から検査計測機器までをご提案「クラボウ」

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■　0.02～10ミクロンまでの豊富なラインアップ
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同社が世界で初めて開発した、オールフッ素樹脂製のフィルターが
『クランフィル』です。ポアサイズ0.02～10ミクロンまで、豊富にライン
アップ。ろ材、サポート材のすべてをPFAまたはPTFEで構成しているため、
優れた耐薬品性を発揮します。

・最大2.6m2の有効ろ過面積を実現するうえ、膜表面の親水性を向上させ、
　フィルター使用中に起きるPTFE膜の乾きを防止したPTFE製フィルター

・高温薬液の循環ライン向けに、ろ過前とろ過後の薬液に含まれるエアーを
　排気できる構造を採用したカプセルタイプ

などもご用意しています。


■　複数の薬液濃度を測定する『ケミカライザー』シリーズ
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複数の薬液の希薄溶液をppmオーダーで測定できる薬液濃度測定装置が
『ケミカライザー』シリーズです。
IPA乾燥機中の微量水分や、マランゴニ効果を利用した乾燥機中の微量IPA、
排水中の希薄フッ酸、有機剥離液中の水分、水中希薄塩酸、アルカリイオン
水、スラリー中の微量有機成分など、様々な濃度測定に使用されています。

なかでも注目なのが、同社独自のアルゴリズムにより、薬液循環ラインでの
高速・リアルタイム測定を可能にした、配管直結型『ケミカライザー』です。


同社は、12月7日（水）から開催される「セミコン・ジャパン 2011」に、
『クランフィル』と『ケミカライザー』シリーズを出展します。
半導体・液晶業界での検査計測技術に実績を持つ同社の製品をぜひ、この
機会にご覧になってはいかがでしょうか。


『クランフィル』や『ケミカライザー』に関するご質問やご要望、資料のご
請求など、お気軽にお問い合わせください。