分解能と元素分析性能が一段とアップ、STEMによる高分解能観察・高感度分析サービス[日立パワーソリューションズ]

No.2376　2018年2月26日

● 材料やデバイスの構造、組成、化学結合状態を高レベルで測定

走査透過電子顕微鏡（STEM）は、薄片化した試料の高倍率・高分解能観察が
できる装置で、原子・分子像を直接観察することが可能です。

株式会社日立パワーソリューションズ様が導入した日立走査透過電子顕微鏡
「HD-2700」は、材料やデバイスの構造、組成、化学結合状態を高いレベル
で測定。球面収差補正器の搭載により、分解能と元素分析性能が一段とアッ
プしました。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

半導体デバイスや貴金属触媒などの開発、製造時の品質管理などに
高性能STEMと熟練技術による「高分解能観察・高感度分析サービス」

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■　高い試料作成技術に定評、立会い分析も可能
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同社の高分解能観察・高感度分析サービスでは、明視野STEM像、環状暗視野
STEM像、二次電子像の取得はもちろん、微小領域、微量元素の高感度EDX分
析、組成分析や化学結合状態の評価ができるEELS分析にも対応。
熟練したオペレーターによる操作と、高い試料作成技術に定評があります。

試料状況を確認しながら観察・分析箇所や条件を指定できる立会い分析も
可能で、測定したデータは即日お持ち帰りいただけます。


■　高分解能観察をはじめとする測定事例
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像分解能0.136nm、倍率x100～x10,000,000のSTEM「HD-2700」を用いた、
同社の観察・分析は、自動車部品、金属、理化学機器、家電業界などの開発・
製造を支援しています。

下記の事例を公開していますので、ぜひご覧ください。

・高分解能観察による原子列の可視化
・高感度EDX分析による貴金属触媒の元素分布
・各種カーボン材料の高エネルギー分解能EELS分析
・高分解能・高感度EDX分析による組成情報の把握


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