事故対応などの特急案件に。迅速・高感度な「深さ方向元素分析」受託サービス［日立パワーソリューションズ］

No.2543　2019年10月24日

●表面分析での最大深度が数ミクロンから100ミクロンまで測定可能に

株式会社日立パワーソリューションズ様では、深さ方向の迅速・高感度な元
素分析の受託サービスを提供しています。高周波グロー放電発光分光分析
（GD-OES）装置を使い、表面から深さ方向についいての元素情報や簡易定量
を測定できる会社はまだ少なく、同社ならでは。

従来の表面分析装置では、材料表面の最大深度は数ミクロンまでしか測定で
きないうえに測定も長時間かかっていました。しかし、同社では最大深度100
ミクロンまでスピーディーに測定可能。
厚いメッキ層の評価にも有効なので、メッキなどの膜厚や成分、製品におけ
る不純物の元素情報、界面の情報や汚染状況などを知りたい、深さ方向の元
素分布を知りたい、といったご依頼にお応えします。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

最大深さ100ミクロンの深さ方向の元素挙動を1回の測定で評価
事故対応などの特急案件に。迅速・高感度な「深さ方向元素分析」

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■　構成元素が異なる多層膜や表面処理品でも膜構成、膜厚を精度よく評価
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同社では、元素濃度やスパッタ速度が既知である半定量キット、標準試料を
使い検量線を作成し、測定にあたっているので、構成元素が異なる多層膜や
表面処理品でも膜構成、膜厚が精度よく評価できます。

GD-OESで測定できる元素は下記のとおりですが、水素の検出ができるのが最
大の特徴です。


■　GD-OESによる評価試験、3年間で約500件程度の測定実績
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同社の技術担当者として、GD-OESによる測定業務に約3年従事する大嶋氏に
よると「GD-OESによる評価試験は3年間で約500件程度の測定を実施していま
す」とのこと。


同社ではこのほかにも表面観察（元素分析）においては日立製設備を数多く
取り揃え、高度な技術と豊富な経験で、ご希望の分析に対応します。


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