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お問い合わせ株式会社マーストーケンソリューション Ｘ線検査事業の設備紹介
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微細な電子部品から実装基板まで、あらゆる場面で活用できるナノフォーカスX線装置です。 |
| X線源種類 | 0.4μm～3μm分解能切り替え式 開放管X線源 |
| フィラメント種類 | 高硬度タイプLaB6チップ |
| X線焦点サイズ | 0.25μm |
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4μm（JIMAチャート） |
| X線出力 管電圧／管電流 | 20～130kV／10～200μA |
| 最大幾何倍数 |
1200倍 |
| 最大モニター倍率（24インチ換算） | 5760倍 |
| ステージサイズ | 直径400mm |
| 最大検査範囲 | 335mm×300mm |
| ステージストローク | X軸：±200mm、Y軸：±150mm |
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Z軸：230mm、θ軸：360° |
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| 傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° |
| 検出器 | 検出器：4インチ l.l ALウィンドウ |
| カメラ：145万画素CCD10bitグレースケール | |
| 最大視野サイズ | 31mm×23mm |
| 本体外径寸法 W×D×Hmm | 1515×1215×1900 |
| 本体重量 | 1500kg |
| ユーティリティ | 電源：三相AC200V、30V（含オプション） |
| エア：0.4～0.5MPa（外径φ6mmチューブ接続） |
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P傾斜型CTのために設計された440×440mmの検査ステージを搭載。高い精度と剛性を有し、高精度な傾斜CT撮像を実現しました。 |
| X線源種類 | 0.4μm～3μm分解能切り替え式 開放管X線源 |
| フィラメント種類 | 高硬度タイプLaB6 チップ |
| X線焦点サイズ | 0.25μm |
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4μm（JIMAチャート） |
| X線出力 管電圧／管電流 | 20～130kV／10～200μA |
| 最大幾何倍率 | 1000倍 |
| 最大モニター倍率（24インチ換算） | 4700倍 |
| ステージサイズ | 440mm×440mm |
| 最大検査範囲 | 200mm×200mm |
| ステージストローク | Ｘ軸：±100mm、Y軸：±100mm |
| Z軸：200mm、θ軸：605° | |
| 傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° |
| 検出器 | 検出器：4インチ l.l ALウィンドウ |
| カメラ：145万画素CCD10bitグレースケール | |
| 最大視野サイズ | 33mm×24.5mm |
| 本体外形寸法 Ｗ×D×Hmm | 1500×1200×1800 |
| 本体重量 | 1500kg |
| ユーティリティ | 電源：三相AC200V、50A（含オプション） |
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最高空間分解能150ナノメートルを実現し、今までX線では透過してしまったような樹脂系素材・生物試料に威力を発揮ます。 |
| X線源種類（線源横置き型） | 0.4μm～1μm分解能切り替え式 開放管X線源 |
| フィラメント種類 | 高硬度タイプLaB6チップ |
| X線焦点サイズ | 0.4μm |
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4μm （JIMAチャート） |
| X線出力 管電圧／管電流 | 20～80kV／10～200μA |
| ボクセル当りの最大検出分解能 | 150nm |
| 搭載可能サンプルサイズ | 0.2～1mm 最大11mm （空間分解能9μm） |
| 7軸精密マニピュレータ |
X軸・Y軸・θ軸・Z軸、カメラポジション移動、 拡大率移動、検査ステージプレアライメント |
| スキャン回転中の精度 | ＜ 100nm |
| 再構成時間 | 1断面あたり12秒 |
| 再構成アルゴリズム | コーンビーム再構成法（faldkamp方式） |
| 検出器 | 検出器：l.l Beウィンドウ |
| カメラ：130万画素CCD12bitグレースケール | |
| 画素数：1280×1024ピクセル | |
| 本体外形寸法 Ｗ×D×Hmm | 1300×800×1400 |
| 本体重量 | 540kg |
| ユーティリティ | 電源：AV100V、20A |
| エア：0.4～0.5MPa（外径φ6mmチューブ接続） |
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5℃／1秒の温度勾配で最高400℃まで加熱でき、加熱後の冷却機能を搭載し3℃／1秒ごとに降温します。正確な温度追従を実現します。 |
| 搭載可能機種 | TUX-3200N、TUX-3210N |
| 外形寸法 | 加熱ユニット：70(H)×410(W)×160(D) 重量2.8kg |
| 温度調節器：258(H)×580(W)×230(D) 重量12kg | |
| ワークサイズ | 40mm(H)×40mm(W)×6mm(D)まで |
| 観察範囲 ※1 | 検出器 傾斜0°：30mm×30mm |
| 検出器 傾斜60°：14mm×30mm | |
| 検出器 傾斜機構 | 60°まで |
| 加熱機構 | 上限温度：300℃（400℃まで可、但し時間制限有り） |
| 昇温勾配：0.1～5℃／秒 | |
| 冷却機構 | 冷却方式：自然冷却、または冷風冷却 |
| 降温勾配：約3℃／秒以下（200℃～300℃の範囲内） | |
| 追加ユニット | 加熱ユニット制御及び動画保存用ワークステーション |
| 電源 ※2 | AC100V 15A |
| ユーティリティ | エアもしくはN2ガス（0.4～0.5MPa、40L／分以上） |
※1：サンプルホルダーは観察範囲30×30mmと15×15mmの2種類が付属します。特殊なサンプルホルダーが必要な場合は営業担当者にご相談ください。
※2：加熱ユニット用電源は装置本体より供給します。
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高精度回転ステージにより、空間分解能1μmを実現。より高精度な撮像を提供します。電子部品の断面検査、樹脂成型品などの構造観察に最適です。 |
| 搭載可能機種 | TUX-3200N、TUX-3210N |
| 外形寸法 | CT：ユニット：113(H)×250(W)×120(D) 重量2.6kg |
| ステージ制御ユニット：125(H）×290(W)×245(D) 重量5kg | |
| ボクセル当りの最高検出分解能 | 1μm程度 ※1 |
| 搭載可能サンプルサイズ | 最大20mm×20mm |
| 精密マニピュレータ |
直交型マニピュレーターX軸5mm、Y軸5mm 搭載装置のX軸・Y軸・Z軸を使用 |
| スキャン回転中の精度 | 1μm程度 |
| 再構成時間 | ビニング2×2 約15秒、ビニング1×1 約120秒 |
| 再構成アルゴリズム | コーンビーム再構成法 |
| 追加ユニット | 再構成・CTデータ保存用ワークステーション |
※1：試料の大きさ及び撮像視野により変わります。