単軸平面切削機、双頭平面切削機、フライス(横型)切断機、各種研削機、高速平面砂掛機(ラップ盤)、平面砂掛機（ラップ盤)、ラップ盤、両面ラップ盤、オスカー式研磨機、自動超音波洗浄装置、 真空蒸着機、分光光度計(日立製U-4100)、分光光度計、干渉計(ZYGO製GPI-XP)、干渉計(解析装置付)、角度検査機、レーザーマーカ、環境試験器(エスペック製PL-1K)、液体分離脱水排水装置、純水装置