●質量分析法
SIMS （二次イオン質量分析法）
TOF-SIMS （飛行時間型二次イオン質量分析法）
ICP-MS （誘導結合プラズマ質量分析法）
GC/MS （ガスクロマトグラフィー質量分析法 ）
LC/MS （液体クロマトグラフィー質量分析法）

●光電子分光法
XPS （X線光電子分光分析法）
UPS （紫外光電子分光法）

●電子顕微鏡観察・分析
AES （オージェ電子分光法）
SEM （走査電子顕微鏡法）
EBIC （電子線誘起電流）
EBSD （電子後方散乱回折像法）
EDX （エネルギー分散型X線分光法）
EPMA （電子線マイクロアナライザー）
TEM （透過電子顕微鏡法）
EELS （電子線エネルギー損失分光法）
SIM （走査イオン顕微鏡）

●振動分光
FT-IR （フーリエ変換赤外分光分析法）
RAMAN （ラマン分光分析法）

●X線回折関連
XRD （X線回折法）
SAXS （小角散乱測定）
XRR （X線反射率法）

●SPM関連
AFM （原子間力顕微鏡法）
SCM （走査型キャパシタンス顕微鏡法）
SSRM （走査型拡がり抵抗（広がり抵抗）顕微鏡法）

●そのほかの測定法
白色干渉計測法
熱分析
EMS （エミッション顕微鏡法）