村田株式会社の設備紹介 液化酸素貯槽 CE−13型 製造能力 270m3/H 液化窒素貯槽 CE−13型 製造能力 219m3/H 液化アルゴン貯槽 CEP−10型 製造能力 335m3/H 液化炭酸貯槽 LCS−10型 製造能力 515kg/H その他の設備