株式会社ムサシノエンジニアリング

１． 真空用容器
　 ・材質 ステンレス、アルミニウム合金、銅、チタン他
　・真空度 10-12Ｔｏrr台まで製作可能
　・大きさ １．５ｍ×１．５ｍ程度
　・溶接 電子ビーム、ＴｉＧ
　・表面処理 ＥＸ加工、ＥＬ加工、電解研磨、科学研磨、ＧＢＢ、アルマイト、硬質アルマイト、他

　２． 真空用ステージ
　・材質 ステンレス、アルミニウム合金、他
　・軸数 １軸～６軸
　・駆動 マニアル、モーター、エアー
　・制御 コントロールボックスまで製作
　・精度 ミクロンまで可能
　・使用真空度 10-11Ｔｏｒｒ台まで可能

　３． 真空用マニピュレーター（運動導入機）
　・材質 ステンレス、アルミニウム、銅、他
　・軸数 １軸～６軸
　・駆動 マニアル、モーター、エアー
　・制御 コントロールボックスまで製作
　・精度 ミクロンまで可能
　・使用真空度 10-12Ｔｏｒｒ台まで可能

　 直線導入機、回転導入機、Ｘ、Ｙマニピュレータ、２軸回転導入機、３軸（Ｘ，θ，チャック）マニピュレーター、４軸（ＸＹＺθ）マニピュレーター、６軸（ＸＹＺθ1，θ2，チルト）マニピュレータ

　４． 真空装置
　・特殊ＣＶＤ、スパッタ装置
　・研究、実験用装置
　・ベーキング装置
　・宇宙環境機器，装置
　５． その他
　・加速器用ビームモニター
　・加速器用ビームスリット、Ｘ，Ｙ，両開き
　・ヴィグラー
　・レーザー光用ビューイングポート
　・ＡＬ，ＳＵＳ，Ｃｕ他フランジ
　・微調位置決めユニット
　・真空用カップリング
　・真空用ボルトナット
　・特殊フィールドスルー（極小タイプ、銅、コンスタンタン、他）
　・Ｂｅマド
　・Ｃｏレーザー共振器
　・各種高真空用ミラー制御
　・極低温用ステージ、マニピュレーター
　・大気用各種ステージ、マニピュレータ
　・各種専用機
　・各種測定機
　・各種治具