対応試験の紹介
イオンクロマトグラフ分析（IC）
■基板清浄度評価サービス
OKIエンジニアリングでは、イオンクロマトグラフィ分析を行い、基板の清浄度だけでなく基板表面のイオン成分量を測定し、どのイオンによって汚染されているかなどを分析、原因を調査します。また、基板以外の水溶性イオン成分の清浄度評価も行っています。
対象材料・部品・装置
- 電子デバイス
- 電子・電気機器
試験所所在地
- 東京都練馬区
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