■機械設備一覧
機械名　　　 型　式　　 能　力 　　　　装置　　　　　　　　数
イオンプレーティング装置 RIP-600 φ300×280L　　　　 1
イオンプレーティング装置 IPB30/45 φ300×450L　　　 1
イオンプレーティング装置 NTH1000 φ140×12軸350L 1
イオンプレーティング装置 SIA-400T φ200×200L　　　 1
イオンプレーティング装置 NTH1000 φ200×8軸×350L 1
イオンプレーティング装置 AIP-4024 φ400×350L 　　　1
DLCコーティング装置 NANO1000PX φ500×600L 　　　1
DLCコーティング装置 NANO1000PX φ500×600L　　　 1
DLC剥離装置 　 φ200×100L 　　　　　　　　　　　　　　　1
DLCミキシングイオン源ユニット（注入用） NMS-40 　　　 1
イオンミーリング装置 IMMI-V 10KV加速電圧　　　　　　 1
イオン注入装置 　 20KV加速電圧　　　　　　　　　　　　　1
超音波洗浄装置　　　(炭化水素系) 3層 　 　　　　　　　1
超音波洗浄装置　　　(水系) 4層 純水使用 　　　　　　　1
LSRH自動スクラッチ試験機 　 AEセンサー 　　　　　　　1
簡易膜厚測定機 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1
微小硬度計 ビッカース硬度計 　　　　　　　　　　　　　　 1
硬度試験機 ロックウエル標準型 　　　　　　　　　　　　　 1
ビーズショットピーニング機 　 ショット材250μm 　　　　1
IEPCO表面処理装置 　 ショット材5～250μm　　　　　　1
回転バレル機 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1
超硬ドリル研削盤 DG16FX 　　　　　　　　　　　　　　　　 1
工具研磨盤 GE120S　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1
万能研削盤 C-40 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1