超音波洗浄装置
ＵＶオゾンクリーナ
真空蒸着機
ＥＢ蒸着機
スパッタ蒸着機
スピンナ
大型スピンコータ
ロールコータ
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スプレー現像機
スプレーエッチングマシン
実体顕微鏡
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デジタルマイクロプロッタ
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投影機
膜厚計　（アルファーステップ）
YAGレーザーリペア
顕微鏡写真撮影装置
ダイシングソー
クリーンルーム
自動パターン検査装置
プラズマアッシャ
ドライフィルムレジストラミネータ
マスクアライナ　(200φウェハー対応)
大型マスクアライナ　(1000 X 800)
大型サンドブラスト装置
大型オーブン　(1000 X 800 X 750)