株式会社ＳＥＢＡＣＳ

◆クォーツ式ウエハ温度計測システム
　　　全チャンネル完全同時計測、温度分解能0.1ｍ℃を実現。
　　　また、センサー故障、ウエハ破損しても修理可能です。　　　

◆無電源ワイヤレスウエハ温度計測システム
　　　ワイヤレスのため、これまで測定できなかった搬送中、
　　　プロセス途上、真空中などでの基盤温度計測に可能性が広がります。
◆ベアリングレスポンプ
　　　インペラ非接触回転によるパーティクルレス、脈動レス、
　　　長寿命、フィードバック制御による圧力と流量の安定供給、
　　　小型で省スペース設置が可能など従来のポンプにはないメリットが
　　　盛りだくさんです。
◆ドラフトチャンバ
　　　治具洗浄からプロセス実験まで、多様な用途に大胆なカスタマイズが可能です。
◆薬液供給ユニット
　　　小型から大型まで、お客様の用途に応じて、大胆なカスタマイズが可能です。

・・・など。
クリーンルーム関連装置の製造販売を行っています。
詳細はぜひ、当社ＨＰへアクセス下さい。
URL⇒　http://www.sebacs.co.jp/