【本所】
表面形状測定機
マスク作製用縮小投影機
メルトインデックサ
分析装置付き走査電子顕微鏡と卓上顕微鏡
静電気減衰測定システム
試料埋込機
音響透過損失・吸音率測定システム

【浜松工業技術支援センター】
スペクトルアナライザ・電磁波用アンテナ
蛍光Ｘ線膜厚測定分析装置
フーリエ変換赤外分光分析装置
複合サイクル試験機
レーザー測長システム

【富士工業技術支援センター】
自動精密切断機
デジタルマイクロスコープ

【沼津工業技術支援センター】
静電気シミュレータ
ビデオマイクロスコープ
精密切断機
走査型電子顕微鏡用画像ファイリングシステム
水平／垂直切換式複合環境振動試験装置
運動・機構解析システム
画像処理システム開発支援装置
実験モーダル解析システム
真円度測定機