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製品・技術

超精密微細孔加工アパーチャーの紹介

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超精密微細加工  / 2021年09月22日 /  医療・バイオ 電子・半導体 先端技術

超精密微細孔で加工したアパーチャーのご紹介

良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、
高品位な製品を提供

電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。

アパーチャー

アパーチャーに求められる品質

電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、孔の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように、平滑な面や汚れのない仕上りが求められます。

東レ・プレシジョンは、長年培ったアパーチャーのノウハウを生かして様々なご要望にお応えしつづけます。

当社製作のアパーチャーの特長

  • 超微細穴の深穴加工が可能です(例:穴径Φ0.003mm 厚み 0.010mm)
  • 最小穴径はφ0.0001mm(0.1μm)からとなります
  • 材質はSUS、Mo、Taなど全ての金属、そしてどんな材質でも製作可能です

当社製作のアパーチャーの特長

■表面仕上げ技術

孔加工のほか、アパーチャーの性能に関わる仕上げ技術も社内に取り揃えております。また、充実した検査設備によりご満足いただける品質を保証いたします。

■孔加工技術

アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。その他、レーザーやFIBなど孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。

用途

  • 電子ビームやイオンビーム、
    X線の絞り・流量制御
  • 計測・検査
  • 理化学機器
  • 真空部品

材質

  • ステンレス
  • モリブデン
  • タングステン
  • タンタルなどのレアメタル

幅広く加工を行います。
まずは、ご相談ください。

加工例

  • マイクロドリリング

    マイクロドリリング

  • 放電加工

    放電加工

  • FIB加工

    FIB加工

  • Φ20μm孔

    Φ20μm孔

  • 巾5μm十文字孔

    巾5μm十文字孔

  • 表面の平滑化技術

    表面の鏡面仕上げ技術

■チャージアップの原因となる汚れを除去

  • 洗浄作業

    洗浄作業

  • 洗浄前

    洗浄前

  • 洗浄後

    洗浄後

  • 確認作業

    確認作業

  • SEM

    SEM

  • マイクロスコープ

    マイクロスコープ

技術資料

小孔加工技術の最新トピックスや、
適用事例、弊社保有の小孔加工技術をご紹介します。

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お問い合わせ

「超精密微細孔加工」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。

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