超精密微細孔加工の紹介

東レ・プレシジョン独自の超精密微細孔加工の中から、お客様の案件に最適な加工方法をご提案します。

• FIB加工
  ナノオーダーの加工技術極低加速電圧による低ダメージ加工
• 超微細放電加工
  ドリルやプレス加工が困難な高硬度材への加工に最適
• 超短パルスレーザー加工
  熱影響が少なく任意の孔形状を高精度に加工、高品位な仕上がりを実現
• レーザー加工
  薄板（1mm以下）に精密微細孔を高速加工
• マイクロプレス加工
  当社開発のプレス加工方式非常に微細な孔を量産（φ数十m）
• マイクロドリル加工
  合成繊維紡糸口金の製造で永年にわたり培った精密加工技術

ドリルやプレスでは加工が困難な、高硬度材への加工に好適

放電加工は、工作物（ワーク）を加工液中に浸漬してワークと電極（工具）の間で放電現象を発生させることにより、ワークを溶融除去する加工法です。加工面に放電を発生させて溶融して加工するため、材質は導電性であれば加工が可能です。

硬くて加工が難しい高硬度材（または難削材）と呼ばれるような超硬合金、モリブデン、タンタル、チタン、タングステン、プラチナ等も加工することができます。また、溶融しながら加工するため切削加工で出るバリも少なく、綺麗な仕上がりになります。

加工方法別小孔径と小孔深さの関係

加工の特長

■小孔径バリエーション

φ0.1μm～φ2μm

：FIB加工

φ3μm～φ10μm

：超微細放電加工

φ10μm～φ100μm

：微細放電加工、レーザー加工

φ100μm～

：プレス、ドリル加工

■品位（滑らかさ）

品位の並びは大まかな表現となっています。
二次加工によっても調整も可能ですので、お気軽にご相談ください。

• 超高品位：FIB加工
• 高品位　：超短パルスレーザー
• 高品位　：プレス
• 一般品位：レーザー加工
• 一般品位：微細放電加工

■高アスペクト（100倍）

• φ0.15－15L　SUS430
• φ0.1－10L　斜め孔加工　SUS630 H1075

■微多孔

孔径30μmで開口率30%以上を実現。
ストレートに近い断面形状の孔加工により、狭ピッチ加工を実現。

孔径精度：±0.001mm
ストレートに近い直進孔のため吐出側からの洗浄（逆洗）も可能。

■材質（難加工材）

• ニッケル合金（ALLOY IN718、ALLOY C276、ALLOYX）
• チタン（Ti64）
• 純タングステン（W）
• 純タンタル（Ta)
• 純モリブデン（Mo）
• ステンレス鋼
• マルエージング
• 無酸素銅
• ニオブ（Nb）
• 透明体（ガラス、フイルム）
• ……など

FIB加工事例・製品アイテム

■FIB加工事例

• 集束イオンビーム加工観察（FIB）
• FIB加工を使った試料観察
• FIB断面加工・観察・トモグラフデータ作製

■FIB加工・製品アイテム

• FIB加工による超微細孔多孔プレート

レーザー加工事例・製品アイテム

■レーザー加工事例

• 超短パルスレーザ加工

■レーザー加工・製品アイテム

• レーザー加工による
  超微細孔多孔シート-セパレータ

加工事例・絞り部品

• 絞り部品特集
• 音速ノズル用オリフィス
• 電子（イオン）ビームの絞り用アパーチャー
• X線向けアンチスカットグリッド

加工事例・微細ノズル

• 微細ノズル特集
• インクジェットノズル
• スリットダイ・スロットダイ
  （スリットノズル）

加工事例・医療機器

• 微量噴霧器（Micro FPS）
• ファインパーティクルスプレーヤー
  （マイクロ噴霧器）

加工事例・サンプル作製

• 検査機校正用 微小異物サンプル作製
• リークテスト用ピンホール、
  差圧オリフィスサンプル作製

超精密微細加工のご紹介

• 微細孔加工特集

  

  • FIB加工
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• 金属3Dプリンター造形