【TOPICS】超短パルスレーザ加工機による高品位・微細加工の受託を開始
【TOPICS】航空宇宙向けの品質マネジメント【JIS Q 9100】の認証取得
電子(イオン)ビームの絞り用アパーチャー
良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、高品位な製品を提供
電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。
アパーチャーに求められる品質
昨今、半導体の微細化に伴い高解像度、コントラストの最適化から高精度化が求められており、東レ・プレシジョンの微細孔加工技術、測定技術を駆使することで真円度1μm・孔径公差±0.5μm・幅公差±1μmを実現。
これにより検査装置間の性能差が抑えられることが期待されます。
より、微細孔を必要とされる場合、光以外に流体(気体、液体)の絞りを必要とされる場合も含め、ご要望をお伺い、提案申し上げます。東レ・プレシジョンは、長年培ったアパーチャーのノウハウを生かして様々なご要望にお応えしつづけます。
当社製作のアパーチャーの特長
- 最大ワークサイズ:□500mm
- 最大加工厚み:~t0.3mm
- 材質:金属等
- 加工孔サイズ:φ30μm~
- 超微細穴の深穴加工が可能です(例:穴径Φ0.003mm 厚み 0.010mm)
- 最小穴径はφ0.0001mm(0.1μm)からとなります
- 材質はSUS、Mo、Taなど全ての金属、そしてどんな材質でも製作可能です
加工技術
■表面仕上げ技術
孔加工のほか、アパーチャーの性能に関わる仕上げ技術も社内に取り揃えております。また、充実した検査設備によりご満足いただける品質を保証いたします。
■孔加工技術
アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。その他、レーザーやFIBなど孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。
加工例
材質
- ステンレス
- モリブデン
- タングステン
- タンタルなどのレアメタル
幅広く加工を行います。
まずは、ご相談ください。
加工方法例
マイクロドリリング
放電加工
FIB加工
表面の鏡面
仕上げ技術
■チャージアップの原因となる汚れを除去
お問い合わせ
「電子(イオン)ビームの絞り用アパーチャー」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。
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