製品・技術

電子（イオン）ビームの絞り用アパーチャー

絞り部品 / 2023年06月22日 / 医療・バイオ電子・半導体先端技術

良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、高品位な製品を提供

電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。

昨今、半導体の微細化に伴い高解像度、コントラストの最適化から高精度化が求められており、東レ・プレシジョンの微細孔加工技術、測定技術を駆使することで真円度1μm・孔径公差±0.5μm・幅公差±1μmを実現。
これにより検査装置間の性能差が抑えられることが期待されます。

より、微細孔を必要とされる場合、光以外に流体（気体、液体）の絞りを必要とされる場合も含め、ご要望をお伺い、提案申し上げます。東レ・プレシジョンは、長年培ったアパーチャーのノウハウを生かして様々なご要望にお応えしつづけます。

当社製作のアパーチャーの特長

孔加工のほか、アパーチャーの性能に関わる仕上げ技術も社内に取り揃えております。また、充実した検査設備によりご満足いただける品質を保証いたします。

アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。その他、レーザーやFIBなど孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。

幅広く加工を行います。
まずは、ご相談ください。

「電子（イオン）ビームの絞り用アパーチャー」の最新トピックスや、適用事例、弊社保有の小孔加工技術をご紹介します。

お問い合わせ

「電子（イオン）ビームの絞り用アパーチャー」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。

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