【Live配信 or アーカイブ配信】エアロゾルデポジション法の原理、メカニズムとセラミックス膜の成膜技術

＜セミナー　No.601401＞

エアロゾルデポジション法の

原理、メカニズムとセラミックス膜の成膜技術

★室温でセラミックス膜を形成できるAD法を詳解

　成膜原理、装置構成、成膜条件と膜質の関係、実際の成膜事例まで

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■講師

横浜国立大学　大学院工学研究院　システムの創生部門　教授　長谷川 誠 氏

■聴講料

１名につき５５，０００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４９，５００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
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・開催前日または配信開始日までに、製本したセミナー資料をお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
　お申込みが直前の場合には、開催日または配信開始日までに資料の到着が間に合わないことがあります。
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・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
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・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

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【本講座で学べること】

・エアロゾルデポジション法による成膜に関する基礎的な知識

・エアロゾルデポジション法における成膜の特徴や装置構成

・エアロゾルデポジション法における成膜の原理

・エアロゾルデポジション法による膜の結晶配向制御技術

【講座概要】

エアロゾルデポジション(AD)法は、室温にて形成する新規の「焼かない」成膜手法です。セラミックス粒子を基板に衝突させることで、数ミクロンから数十ミクロン程度の厚さとなる原料粒子と同一組成・結晶構造を有する緻密かつ結晶質な膜が形成します。この手法は、粒子の運動エネルギーを利用してセラミックス膜を形成することから、エネルギー消費を大きく抑制する環境に配慮した新規の材料創生法として持続可能な社会の構築に必須のプロセス技術だと考えられます。本講演では、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の用途展開についてご紹介します。

１．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の特徴

　1.1 背景

　1.2 AD装置の構成

　1.3 種々の成膜条件が膜の形成に与える影響

　　1.3.1 アルミナ粒子での成膜

　　1.3.2 ジルコニア(YSZ)粒子での成膜

　　1.3.3 ムライト粒子での成膜

　　1.3.4 金属粒子での成膜

２．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の原理

　2.1 近年提唱されている成膜原理

　2.2 シミュレーションによる成膜の理解

　2.3 成膜粒子の速度測定手法

　2.4 粒子のひずみエネルギーに基づいた成膜の解析

　2.5 AD法による結晶配向膜の形成

３．成膜体の特性と用途展開

　3.1 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性

　3.2 AD法による低発塵性部材

　3.3 プラスチックへのAD法の適用

　3.4 ADアルミナ硬質膜のローラへの適用

　3.5 AD膜の耐環境保護膜としての適用の可能性

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