【Live配信セミナー　10/29】半導体製造プロセスと機械学習･深層学習（AI）の活用

セミナー№６１０５１６

【Live配信】
半導体製造プロセスと

機械学習･深層学習（AI）の活用

★制御設計へのAI適用、生成AIによる開発支援、システムへの展開．．．
　　半導体製造へのプロセスデータ、装置データを活用したAI導入の進め方！
★センサーデータからどのように価値を創出するか！

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■講師

MathWorks Japan　インダストリーマーケティング部

　インダストリアルオートメーション・マシナリーインダストリマネージャー　遠山 巧 氏

MathWorks Japan　アプリケーションエンジニアリング部　

　プリンシパル・アプリケーションエンジニア　王 暁星 氏

■聴講料

1名につき 38,500円（消費税込，資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合のみ１名につき33,000円(税込)〕

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■Live配信セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
　Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。
・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

プログラム                                                                                    

【講演趣旨】
半導体製造では、微細化・工程複雑化・品質要求の高まりにより、プロセスデータや装置データを活用したAI導入が重要性を増している。本講演では、半導体製造プロセスにおけるAI・生成AI活用を、制御系設計とセンサーデータ解析の両面から解説する。第一部では、制御設計へのAI適用、生成AIによる開発支援、システム展開を紹介する。第二部では、エッチングプロファイル推定、異常検知・予知保全、プロセス最適化、外観検査などの現場課題を取り上げ、汎用ツールを用いたAI実践例を説明し、課題解決に向けたヒントをお届けする。

【講演項目】
Ⅰ.制御設計へのAI活用例と生成AI実践
1.はじめに
2.制御系設計におけるAI活用の全体像
3.制御設計へのAI適用
4.生成AIによる開発支援
5.システムへの展開
6.まとめ
【質疑応答】

Ⅱ.センサーデータへの適用と汎用ツールを用いた実践例
1.はじめに：半導体製造におけるAI活用の全体像
2.機械学習と深層学習（AI）の概要
3.センサーデータから価値を創出するAI活用とMATLAB実践例
　3-1.エッチングプロファイルの推定
　3-2.半導体製造装置の教師なし異常検知・予知保全
　3-3.プロセス最適化
　3-4.外観検査など
4.AIモデルの現場実装
5.まとめ
【質疑応答】

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