さらなる高分解能分析が可能。「AC-STEM」とは？［ナノサイエンス］

No.1581　2013年5月21日

●　従来のSTEMとは見え方が圧倒的に違う“新開発”電子顕微鏡で分析

不純物や組成、形態観察、構造解析など各種表面分析の受託サービスを行う
ナノサイエンス株式会社様。素材の開発からデバイス開発、故障解析などの
問題解決をサポートする分析の専門集団です。

同社は、従来のSTEM（走査透過電子顕微鏡）に比べ、高分解能で高感度分析
ができる球面収差補正装置が付いた「AC-STEM」を新たに導入。より精度の
高い分析を提供できるようになりました。


　　※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※
　　
　　　　　　ナノスケールレベルをさらに進めた表面分析に
　　　　　「AC-STEM」を利用した高分解能・高感度分析とは？
　　
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■　拡大観察や面分析に違いがくっきり
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ナノスケールレベルの分解能を、球面収差補正と高感度のX線検出器により、
さらにハイレベルにしたのが「AC-STEM」です。球面収差補正により、微小
プローブで大きなプローブ電流が得られる点が特長です。

窒化ガリウム（GaN）系材料のMQW部の拡大観察や、半導体デバイスの面分析
事例で、従来のSTEMと「AC-STEM」ではどれだけ異なるかをご確認ください。


■　「GDMS」や「SIMS」による不純物評価に実績
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その他、最近ご要望の多い、最新の分析事例をご紹介しましょう。

現在、最先端製品に多く使われているレアメタルやレアアースの純度評価が
そのひとつです。
「GDMS（グロー放電質量分析）」なら、70元素以上の同時測定が可能で、標
準試料が無い材料でも定量に近い半定量値を求めることができます。また、
酸化物材料中の不純物評価や純度の決定にも対応が可能です。


近年注目されている、省エネルギー性能に優れたSiCパワー半導体の「GDMS」
や「SIMS（二次イオン質量分析）」による不純物評価にも長年の実績があり、
高評価を得ています。
SiC専用の「SIMS」装置を多く保有し、高感度性能を維持。また、SiCウエハ
をカットせず、8インチまでそのまま搭載できる「SIMS」装置も開発して、
対応しています。


EAGの一員として、世界一流技術による各種表面分析サービスを、ニーズに
合わせて安価に提供する同社。ぜひ、お気軽にご相談ください。