内藤電誠工業株式会社の設備紹介

信頼性評価設備一覧

■恒温槽

設備･装置名	代表型式	性能
恒温槽	IPH-202	260℃MAX 耐熱性試験仕様高温時における製品の耐熱性評価装置。 N2雰囲気可（200℃MAX）バイアス：〇　※AMR使用可最大槽内寸法：600(W)×600(H)×600(D)mm
恒温恒湿槽	PL-4J	-40℃～100℃ 20%～98%Rh 恒温/高湿試験槽として電子デバイスや実装試験等の環境試験のほか、低温試験/高温試験/（バイアステスト併用）も行えます。バイアス：〇　※AMR使用可最大槽内寸法：1000(W)×1000(H)×800(D)mm
小型恒温恒湿槽	SH-662	-65℃～150℃ 30%～95%Rh 耐湿度試験仕様製品が高湿度環境下で動作させた場合の信頼性を確認する装置。バイアス：〇　※AMR使用可最大槽内寸法：400(W)×400(H)×440(D)mm
ハイパワー恒温恒湿槽	ARSF-0800-15	-75℃～180℃ 10%～98%Rh より厳しさを求められる環境試験（車載用部品、モバイル製品など）の試験要求にお応えします。バイアス：〇　※AMR使用可最大槽内寸法：1100(W)×980(H)×800(D)mm

■冷熱衝撃槽

設備･装置名

代表型式

性能

気槽型温度
サイクル槽

TSA-201S-W
TSA-71H-W

-70℃～200℃

バイアス: ：〇　※AMR使用可

最大槽内寸法(W×H×D)
TSA-201S-W：650×460×670mm（200L）
TSA-71H-W ：410×460×370mm（70L）

気槽型温度
サイクル槽
（300℃タイプ）

TSA-73EH

-70℃～300℃

バイアス: ：〇　※AMR使用可
最大槽内寸法 (W×H×D): ：410×460×370mm（70L）

■PCT試験槽

設備･装置名

代表型式

性能

PCT
（HAST）

EHS-220M

105℃～140℃　75%～100%Rh

バイアス: ：〇
最大槽内寸法: ：Φ29.5XL 329mm

PCT

TPC-211

105℃～140℃　75%～100%Rh

バイアス: ：〇
最大槽内寸法: ：Φ29.5XL 330mm

■実装評価

設備･装置名

代表型式

性能

リフロー装置

UNI-8316

加熱 8 Zone（max 9 zone）
冷却 3 Zone（加熱max使用時 2 zone）
（遠赤外線併用熱風対流加熱タイプ）
各種Pbフリー対応可能各種
JEDEC規格対応（J-STD-020Eなど）

最大槽内寸法（W×H×D）
3040×1000×1310mm（外形寸法）
150×250×25mm（サンプル寸法）

■振動試験機・衝撃試験機

設備･装置名	代表型式	性能
振動試験機	IMV社 VS-2000A-14OT	（無負荷時）最大加振力正弦波　　　：19.6kN（2000kgf）ランダム波　：13.7kNrms（1400kgrms）最大加速度　：980m/s²（100G）最大速度　　：2.0m/s 最大変位　　：51mmp-p 振動周波数　：5～3000Hz 最大積載質量：300kg（試験品、治具を含む）加振方向　　：上下方向
振動試験機	IMV社 VS-1031-200	（無負荷時）最大加振力正弦波　　　：9.8kN（1000kgf）ランダム波　：6.86kNrms（700kgrms）最大加速度　：1020m/s²（100G）最大速度　　：2.0m/s 最大変位　　：51mmp-p 振動周波数　：5～3000Hz 最大積載質量：140kg（試験品、治具を含む）加振方向　　：上下方向
衝撃試験機	AVEX社 SM-110-MP	発生波形　　：正弦半波衝撃加速度：98～49000m/s²（10～3000G）衝撃作用時間：0.1～60ms 最大積載質量：90kg（試験品、治具を含む）

■EMIシステム

設備･装置名

代表型式

性能

EMI測定
システム

TOKIN社
小型電波暗室

東洋テクニカ社
EP5-RE

電源容量　　　：100,115,230V/50Hz/10A
測定周波数　　：30MHz～1GHz
アンテナ昇降　：1.0m～2.0m
ターンテーブル：φ1.2m
耐荷重　　　　：250Kg
最大室内寸法　　　：7.0×3.0×3.2m
（長さ×幅×高さ）

■自動光学測定器

設備･装置名	代表型式	性能
自動光学測定器	TOPCON社色彩輝度計 BM-5A	測定角：0.1/0.2/1/2°　切替式分光感度特性：CIE1931等式関数に近似測定範囲：0.0001～1,200,000cd2 （0.00003～350,000fL）測定距離：520mm～∞ 輝度精度：±4% of rdg 色度精度：0.005以内
	TOPCON社分光放射計 SR-UL1R	測定角：0.1/0.2/1/2°　自動切替式測定範囲：0.005～300,000cd2 測定距離：350mm～∞ 輝度精度：±2% of rdg 色度精度：0.002

調査解析装置一覧

■走査型電子顕微鏡

名称	メーカー・形式	仕様
電界放出（放射）走査型電子顕微鏡（FE-SEM）	日立 SU8000	二次電子像分解能：1.0nm 加速電圧：0.1kV～30kV 倍率：×30～×800,000 試料サイズ：Φ150mm 二次検出器：Top/Upper/Lower SE（二次電子） BSE-H（組成情報） BSE-L（組成+凹凸情報）
電界放出（放射）走査型電子顕微鏡（FE-SEM）	HORIBA EMAX x-act250	検出元素範囲：B（5）～U（92）検出器：シリコン・リチウム・ドリフト型分解能：137ev以下その他：定性分析、カラーマッピング機能、定量分析（1%未満分析可能）、多点・線分析

■X線装置

名称	メーカー・形式	仕様
マルチフォーカス X線CT装置	エクスロン Cheetah EVO	透視観察：ナノ・マイクロ・ハイパワー CTスキャン：直交+斜めCTスキャン観察倍率：～3000倍焦点寸法：最小0.3μm 管電圧：最大160kV 管電流：最大1mA ステージサイズ：460×410mm サンプル重量：最大5kg 映像素子：FPD　16bit　100万画像
マイクロフォーカス X線装置	SHIMADZU SMX-160LT	焦点寸法：0.4μm フィラメント：LaB6 観察倍率：5～2700倍（モニタ上）最大管電圧：160kV 最大管電流：200μA ステージサイズ：350×300mm
X線透過装置	ソフテックス CD-100	観察倍率：×7～65 焦点寸法：0.3mm 最大管電圧：100kV 最大管電流：3mA

■超音波探査映像装置

名称	メーカー・形式	仕様
超音波探査映像装置（SAT）	日立建機ファインテック HYE-FOCUSⅡ	走査範囲：340×340mm 最大倍率：1000倍最小ピッチ：2.5μm　256表示階調プローブ種類：25、50、75、140、230MHz

■試料切断装置

名称	メーカー・形式	仕様
	リファインテック RCA-005	ダイヤモンド切断ホイールΦ5インチ使用
	BUEHLER アイソメット2000	ダイヤモンド切断ホイールΦ6インチ使用

■試料研磨装置

名称	メーカー・形式	仕様
	BUEHLER エコメット4000	研磨ディスク：12インチ回転数：10～500rpmで10rpm毎に可変
	BUEHLER エコメットツイン	研磨ディスク：8インチ回転数：10～350rpmで10rpm毎に可変
	ポリシステム PS-2000	研磨ディスク：200mm 回転数：10～200rpm無断変速
	丸本ストルアスロトポール25	研磨ディスク：250mm/2枚回転数：40～600rpmで無断変速

■クロスセクションポリッシャ

名称

メーカー・形式

仕様

日本電子
SM-09020CP
MarkⅡ

イオン加速電圧：2～6kV
イオンビーム径：500um（半値幅）

最大搭載試料サイズ（幅×長さ×厚さ）
／ミリングスピード
CP
：11×10×2mm／100um/H
ミリング
：20×20×3mm／4um/H
試料移動範囲
X軸
：±3mm
Y軸
：±3mm
試料角度調整
：±5度

■ディンブルグラインダー

名称	メーカー・形式	仕様
	日立建機ファインテック HYE-FOCUSⅡ	初期試料厚さ：200μm以下最終試料厚さ：5～10μmまで研磨ホイール径：15mmφ 研磨ホイール速度：0～600rpm

■顕微鏡

名称	メーカー・形式	仕様
実体顕微鏡	ライカ Z16 APO	観察倍率：×3.6～×230 撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム（ニコン　DMX-1200Fデジタルカメラシステム）
	オリンパス SZH10	観察倍率：×3.5～×140 撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
デジタルマイクロスコープ	キーエンス VHX-6000	観察倍率：0.1倍～2000倍 2D計測機能（多点計測可）撮ライブ深度合成自動画像連結機能傾斜観察角度：最大90度

■金属･透過型顕微鏡

名称	メーカー・形式	仕様
	ニコンエクリプス ME600L	観察倍率：×25～×1500 撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム（ニコン　DMX-1200デジタルカメラシステム）
	オリンパス BX60MF5	観察倍率：×37.5～×990 撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム（ニコン　DMX-1200デジタルカメラシステム）
	オリンパス BHC	観察倍率：×25～×840

■開封装置

名称	メーカー・形式	仕様
レーザーパッケージ開封機	ハイソル社製 Laser Decap PRO	レーザー方式：Nd・YVO4レーザー波長：1,064nm 定格出力：＞9W パルス周波数：0-200kHz 加工範囲：200×200nm
パッケージオープナー（自動開封装置）	日本サイエンティフィック PA-103	使用薬品：発煙硝酸開封可能パッケージ：プラスティックモールド開封温度：50℃～80℃ 時間設定：0～59分59秒

■ドライエッチング装置

名称	メーカー・形式	仕様
	日本サイエンティフィック ES373	高周波出力：20～100Ｗ電極間距離：30mm シーケンス動作：全自動使用真空度：5～80Pa プロセスガス：CF4,O2,他ステージ温度範囲：30～50℃ エッチング時間：０～99min.59sec.

■ボンドテスター

名称

メーカー・形式

仕様

ザイズテック
Condor Sigma

ボンディングワイヤプル／シェア
Alリボン線プル／シェア、ダイシェア

ロードセル: ：100gf、10kgf
測定誤差: ：±0.075%

■PIND試験装置

名称	メーカー・形式	仕様
	B&Wエンジニアリング社製 BW-LPD-DAQ4000	周波数：40Hz（27Hz）～260Hz 加速度：0～20Gピーク衝撃：1000±200G トランスデゥーサ：感度－77.5±3db ステージ：2インチ

■カーブトレーサー

名称

メーカー・形式

仕様

Tektronix
370B

ステップ・ゼネレーター機能搭載

最大ピーク電力: ：220W
電圧: ：2000V
電流: ：10A

■卓上型精密万能試験機

名称	メーカー・形式	仕様
	SHIMADZU オートグラフ AGS-5ｋNX	負荷容量：5kN 試験力測定精度：±1%以内クロスヘッド（引張ストローク）：1200mm（885mm）試験空間（テーブル面）：幅420mm×奥行（無限）

X線CT観察

■装置外観およびスペック

装置外観図	型名：Cheetah EVO （エクスロン社製） CTスキャン：直交+斜めCTスキャン透視観察：ナノ・マイクロ・ハイパワー観察倍率：～3000倍焦点寸法：最小0.3μm 管電圧：最大160kV 管電流：最大1mA ステージサイズ：460×410mm サンプル重量：最大5kg 映像素子：FPD　16bit　100万画像
高性能X線CT観察の事例を見る >

■直交CT

試料の回転方向に対してX線を直交方向から照射し、360度方向から撮影。

直交CTでは試料サイズに制約があるものの、収集する情報量が多く、精細な観察が可能です。

直交 CT画像
（例 BGAボール）

■斜めCT

FPD（X線検出器）を傾斜させ、ステージを360度水平回転しながら撮影。

基板のままCT観察することは、直交CTでは限界があります。
斜めCTでは観察部品を中心に水平回転させ、撮影致しますので基板のままCT観察が可能となります。

斜め CT画像
（例 BGAボール）

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設備･装置名	代表型式	性能
自動光学測定器	TOPCON社色彩輝度計 BM-5A	測定角：0.1/0.2/1/2°　切替式分光感度特性：CIE1931等式関数に近似測定範囲：0.0001～1,200,000cd2 （0.00003～350,000fL）測定距離：520mm～∞ 輝度精度：±4% of rdg 色度精度：0.005以内
	TOPCON社分光放射計 SR-UL1R	測定角：0.1/0.2/1/2°　自動切替式測定範囲：0.005～300,000cd2 測定距離：350mm～∞ 輝度精度：±2% of rdg 色度精度：0.002

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X線CT観察

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