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製品・技術

超精密微細溝加工の紹介

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超精密微細溝加工  / 2021年12月13日 /  医療・バイオ 電子・半導体 先端技術

超精密微細溝加工の紹介

超微細溝加工技術は、主にダイヤモンド工具を用いて、ワークとの相対運動により、工具刃先形状をワーク表面へ転写します。

徹底された防震、恒温・恒湿管理の下でナノオーダーレベル制御で多様な形状の超精密切削加工を行います。加工形状の種類も角溝、半円溝、格子溝、台形溝、ディンプル加工など数多く取り揃えています。

光学ディスプレイ関連部材やナノインプリントの金型など幅広い分野に応用されています。

  • V溝(×500倍) V溝(×500倍)上からV溝(×500倍)横から
  • 半円溝(×350倍) 半円溝(×350倍)上から半円溝(×350倍)横から
  • 格子溝(×380倍) 格子溝(×380倍)2μm格子溝(×380倍)50μm

特長

加工イメージ

任意面に対し凹凸を形成するもので、その工法によって形成される溝品質は様々です。

溝を形成する手段は多数存在しますが、東レ・プレシジョンでは、機械加工、電気加工、高エネルギー加工を得意としており、各種高精度な機械を用いて溝加工を行っております。

主な加工仕様

最大ワークサイズ 65インチサイズ(1,500mm×900mm)
ピッチ精度 ±1μm(溝、稜線共にシャープ形状が可能)
表面粗さ Ra0.01μm~
軸の最小分解能 1nm
ナノレベルの切削、形状加工 (加工精度 0.1μm 程度)
恒温室管理 23±0.05℃

加工可能な素材

  • 無電解ニッケルメッキ
  • 無酸素銅
  • アルミ
  • 真鍮
  • STAVAX
  • SUS304
  • 樹脂 他

製品アイテム

加工事例

高アスペクト比矩形溝加工

東レ・プレシジョンの超微細溝加工は、高アスペクト比30倍を有する矩形溝の応用展開が期待出来ます。

また、溝幅0.04mmと溝と溝を隔てる壁の厚み0.01mm可能です。

■仕様

  実績 応用展開
溝幅 0.05mm 0.04mm
溝肉厚 0.015mm 0.01mm可
溝深さ 0.2mm 0.3mm可

※無電解ニッケルメッキ層加工

熱インプリント加工

フィルム表面への高精度、高精細な形状付与が可能
微細金型を用いてフィルムへの熱インプリント加工を承ります。少量のサンプルテスト加工、お客様のご要望に応じた形状、材料の提案もさせていただきます。

■熱インプリントとは

フィルム表面への高精度、高精細な形状付与を可能とする技術です。

独自の高速加熱冷却システムやフィルム剥離機構により、高スループットを間欠/連続で成形可能です。また、モスアイ構造・高アスペクト比・離散配置・両面成形など各種パターン成形が可能です。

■加工例

  • インプリントサンプル例

    離散配置パターン拡大する

    離散配置パターン

    微細カップ拡大する

    微細カップ

  • 金型形状とフィルム形状

    金型形状拡大する

    金型形状

    成形フィルム形状拡大する

    成形フィルム形状

難削材加工

超精密切削加工機を用いた被削材表面への高精度な形状加工を実現。
ダイヤモンドバイト工具を用いた鏡面仕上げ、シャープエッジを有した形状の創生が可能です。

金型外観

金型外観

V溝:形状高さ50μm

V溝:形状高さ50μm

V溝:加工断面

V溝:加工断面

■加工材質例

  • SUS304
  • SUS316L
  • SUS420J2(HRC52)
  • 純チタンTP340C
  • Mo
  • Ta

■応用例

  • 導光板金型
  • 光学部品
  • レアメタル形状加工

技術資料

溝加工技術の最新トピックスや、
適用事例、弊社保有の小孔加工技術をご紹介します。

資料ダウンロード

精密加工 技術ハンドブック Vol.9

お問い合わせ

「超精密微細溝加工」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。

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