レーザー加工による超微細孔多孔吸着プレート（吸着板）

微細孔と狭ピッチによる加工で吸着痕の少ない吸着プレート

フィルムや柔らかいシート状ワークの吸着固定には、シワ・吸着痕がなく、しっかり固定することが求められます。
東レ・プレシジョンの微細孔加工技術により、微細な孔を狭ピッチで配置させることで、ワークの歪みを抑えられます。

吸着プレートとは薄い製品（例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等）を吸着固定する治具・機器のことです。製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。

呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。
吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。

■特長

東レ・プレシジョンでは金属板に高精度な微細孔と位置精度で加工し、且つ、高い平面度で吸着面を仕上げるため、薄膜の製品を均一に吸着固定することが可能です。
狭ピッチの加工が可能で、薄くてデリケートな製品への吸着痕やシワを抑制できます。

• 高精度な微細孔と位置精度と高い平面度で均一に吸着固定が可能
• 製品への吸着痕やシワを抑制
• オーダーメイドで吸着エリアを自由設計
• 目詰まりしても洗浄可能で、メンテナンスに優れる※1
• 製品の脱着応答（ON/OFF）が速やか
  （多孔質吸着と比較して、エアーの圧損が小さく離型が容易）
• 大きいワークサイズも対応可能

※1粘着剤などは除去できない場合があります

■仕様

最小孔径

：Φ15～20μm

加工精度

：孔径±10%～　※サイズ・材質・孔径により異なります

最小ピッチ

：0.3mm

位置精度

：±10μm以下

最大ワークサイズ

：800×800mm

表面粗さ

：吸着・離型の要望により異なります
ご要望に合わせてカスタマイズ可能

適用材質

：金属全般、その他　※お気軽にご相談下さい

丸孔形状以外の異形孔・スリット加工も対応可能

固定した製品が吸着孔に引き込まれて刃が届かず割断や切断できない、製品に吸着痕がついてしまう等ありましたらお気軽にご相談下さい。

■製品加工例

• 孔径　：10～50μm
• ピッチ：20μm

■用途

• 樹脂フィルムの固定
• セラミックシートの固定
• スクリーン印刷
• ピックアップ＆プレイスユニット
• ガラス基板の搬送での固定

■関連動画

吸着プレート上の500円玉の浮遊

「微多孔シート/セパレータ」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。

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