エレクトロケミカルマイグレーションテスター　ECM-100　計測データ＜実測＞

ECM-100で実際にエンドユーザー様にて計測されたデータをご紹介します。

左の資料は、ＨＡＳＴと組み合わせたデータです。

＜試験条件＞

　・槽内環境：130℃、85％

　・印加電圧：3.3V

ＨＡＳＴとの組み合わせの場合は、ＨＡＳＴの槽内にテスター付属の計測ケーブルを直接入れられず、中継やケーブル延長があるため、ノイズの影響を受けやすくなります。

特に、サンプルが高抵抗であり、かつ印加電圧が低い場合に影響が大きくなります。

ＥＣＭ－１００シリーズは、このような条件であってもノイズを効果的に除去します。

また、独自のハイサイド計測方式による極めて安定した電圧印加回路と正確な電圧モニタリング、高精度な電流計測回路により、僅かな抵抗値の差も正確かつ安定的に計測します。

掲載しました実測データでは実際に次の事が確認できます。

■L/S=15μm、18μmの2種類のサンプルの抵抗値の違いが表現される

■10乗程度の高抵抗であるがノイズやデータの乱れが皆無である

　⇒3.3Vの印加電圧は安定している

　⇒電流計測回路は微弱電流を安定して計測している

　⇒各CH独立設計によりCH間の影響が全く発生しない

  今までのテスターでは計測が難しい条件下でも、信頼性試験結果として十分にご活用できる計測データを取得します。

ECM-100シリーズについての詳細につきまして、弊社サイトの製品ページ（下記の関連リンク）を是非ご覧ください。