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事例

FIB加工を使ったアパーチャー・コリメーター・オリフィス加工

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FIB加工  / 2018年09月11日 / 

FIB加工を使ったアパーチャー・コリメーター・オリフィス加工

 

光や流体の絞り、流量制御として使われています。
電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。

 

加工品の用途

 

  • 電子ビームやイオンビーム、X線の絞り・流量制御
  • 計測・検査
  • 理化学機器
  • 真空部品

 

特徴

 

  • 最小穴径はΦ0.003mmからとなります。
  • 材質はSUS、Mo、Ta等ご相談に応じます。

 

使用装置の詳細

 

アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。
その他、放電加工や精密プレス、レーザ加工など孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。

 

穴径

0.003mm

厚み

0.010mm(L/D=2倍)

材質

タングステン

穴径

0.050mm

厚み

0.010mm(L/D=2倍)

材質

タングステン

穴径

0.025mm

厚み

0.010mm(L/D=2倍)

材質

タングステン

この製品に使用された主な技術はこちら

  • 集束イオンビーム(FIB)加工
  • 精密プレス加工
  • レアメタル加工(難削材加工)