グロー放電質量分析（GDMS）

GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry：グロー放電質量分析） は微量不純物（ppm-ppb wt）の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分*を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。
試料は導電性を持つものが好ましいですが、EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。

＊ガス成分（水素（H）・炭素（C）・窒素（N）・酸素（O）のバルク分析はIGA分析の併用を推奨します

＊各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます

対象分野

• 半導体
• エレクトロニクス
• 自動車
• 航空宇宙
• 鉄鋼
• 先端材料
• エネルギー
• メディカルデバイス

対象試料の事例

• 純度金属
• 合金
• カーボン及び黒鉛製造品
• 各種半導体材料、パワーデバイス
• 酸化物・炭化物・窒化物・硫化物等のセラミックス
• 太陽電池用シリコン
• レアメタル・レアアース
• 主成分不確定な未知の材料
• 二次電池正極材原材料

原理/特徴

固体試料を陰極としてグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させます。

• 周期律上で安定同位体を持つ殆どの元素(Li-U)の測定が可能
• 多くの元素に対し、ppb-%レベルの測定が可能
• マトリックス効果が小さく、
  標準試料の無い未知の材料でも定量分析に近い半定量分析が可能
• 粉末、ワイヤー、薄膜等、様々な形態でも補助材料を用いる事で直接測定が可能
• 導電性を確保する事で、半導体材料や絶縁物でも直接測定が可能

装置構成

分析に適した試料量/形状

■推奨量
約3g以上

■形状
バルク・粉末・不定形・ピン形状

ピンセル方式

スパッタ領域全てを見る事が出来るため、バルクとしての試料情報を得るのに適しています。

ピンセルに適した形状

酸化物は試料を固定するためにTaスプーンを使用します。そのため、Taの測定はできません。また、Taスプーンの試料前処理作業が必要になります。

フラットセル方式

• 薄いフイルム状や平らな表面のサンプルに効果的
• 粉末はフラットセルに固定し分析
• 基板上の薄膜も分析可能（最低数umの厚さが必要）
• 深さ方向分析が可能

フラットセルに適した形状

関連のある分析手法

• IGA
• ETV-ICP-MS
• ICP-MS
• ICP-OES

分析深さ一覧

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