「TEM/STEM」一覧
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TXRF分析概略TXRF（Total reflection x-ray fluorescence : 全反射蛍光X線分析）は半導体ウエハ表面の微量金属汚染の評価に用いています。洗浄など、製造製造工程でウエハ表面に付着した金属汚染の分析に有効です。…
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TEM/STEM-EDS/EELS：TEM/STEM-エネルギー分散型X線分光法/電子エネルギー損失分光法
TEM/STEM-EDS/EELS：分析概略TEM/STEMを用いた元素分析です。EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy：ネルギー分散型X線分光法）は比較的重元素の測定に向いており、EELS（Electron Energy Loss Spectroscopy：… -
SIMS分析概略SIMS（Secondary ion mass spectrometry : 二次イオン質量分析法）は極低濃度のドーパントや不純物を検出する分析手法です。試料表面を一次イオンでスパッタし、スパッタによって放出された二次イオンを…
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TEM/STEM分析概略TEM/STEM（Transmission Electron Microscope/Scanning transmission electron microscope：透過型電子顕微鏡/走査型透過型電子顕微鏡分析）は、電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法…
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