グロー放電質量分析（GDMS）分析

グロー放電質量分析（GDMS） は微量不純物の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。

EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。

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装置構成

SEM/断面SEM分析

SEM（走査型電子顕微鏡）では表面の凹凸像・組成コントラスト像を取得することができます。

また、FIB-SEMやイオンミリング装置で試料の断面加工を行い、SEMで微細構造の分析を行うことができます。

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比較：反射電子像と二次電子像

NEWSIMS：二次イオン質量分析法

SIMSは極低濃度のドーパントや不純物を検出する分析手法です。

SIMSではHを含めた全元素をppm〜pptの感度で深さ方向分析を行うことができます。

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【事例】酸化膜中における可動イオンのイオン注入分布評価

NEWTEM/STEM：透過型電子顕微鏡分析

TEM/STEMは、電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法です。

TEM/STEMの空間分解能は約1〜2Åです。 高エネルギー電子（80〜200 keV）は、電子透過性サンプル（〜100 nmの厚さ）を透過します。

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【事例】AC-STEMのABFを用いたGaN結晶の極性評価

実施する各種表面分析受託サービスの概要

1. 不純物分析
   • SIMS（二次イオン質量分析）
   • GDMS（グロー放電質量分析）
   • IGA（残留ガス分析）
   • ICP-OES（高周波誘導結合プラズマ発光分析）
   • TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析）
   • TXRF（全反射蛍光X線分析）
   • LEXES（低エネルギーX線分析）
2. 組成分析
   • RBS（ラザフォード後方散乱分析）UP
   • HFS/EDRA（水素前方散乱分析
   • XPS/ESCA（X線光電子分光分析）
   • TEM/STEM-EDS（透過型電子顕微鏡）
   • EELS（高分解能EELSによる微細素子の構造評価）
   • SEM/EDS（走査型電子顕微鏡）
   • SEM-CL（カソードルミネッセンス）
   • NRA（核反応分析）
   • AES（オージェ電子分光分析）
   • XRR（X線反射率測定）
3. 形態観察/構造解析
   • SEM（走査型電子顕微鏡）
   • TEM/STEM（透過型電子顕微鏡）
   • FIB/SEM（集束イオンビーム/走査型電子顕微鏡）
   • 3D-APT（3次元アトムプローブ）UP
   • AFM（原子間力顕微鏡）
   • XRD（X線回析）
   • FTIR（フーリエ変換赤外分光分析）
   • Raman（ラマン分光分析）
4. cGMP及びGLP関連情報

その他サービスの概要

1. ORS社分析サービス 気密性試験
   • IVA分析/HR-IVA分析
     （半導体などの封止パッケージ内の水分量、ガス成分分析）
   • 半導体などの封止パッケージの気密性試験
     クリプトン85によるファイン・グロスリーク試験
     ヘリウムによるファインリーク試験
     フッ化炭素によるグロスリーク試験
2. Solecon社分析サービス
   • SRP/SRA（SiまたはGe半導体材料中の広がり抵抗測定）

沿革

1992年

同事業部三営業部のうち、マイクロコントロール及びエバンス営業部の二営業部がトムソンジャパン株式会社より独立、新たにナノサイエンス株式会社を設立
分析サービス営業部と計測機器営業部で業務を展開

1996年

CE&A社のGDMS受託分析サービスの中止に伴い、米国シバ・テクノロジーズ社の日本総代理店としてGDMS受託分析サービスを開始

2004年

米国フル・ウエハー・アナリシス(FWA)社と日本総代理店契約を結び、LEXES分析サービスを開始
計測機器営業部を閉鎖　分析サービス営業部のみで業務展開

2005年

エバンス・アナリティカル・グループの日本総代理店としてサービスを開始

2006年

エバンス・アナリティカル・グループ参加に加

2008年

米国オネイダ・リサーチ・サービス(ORS)社の日本代理店として、IVA受託分析サービスを開始

2011年

オネイダ・リサーチ・サービス(ORS)社の封止パッケージの気密性試験受託サービスを開始
米国ソレコン(Solecon)社正規代理店としてサービスを開始

2017年

EAG LaboratoriesはEurofins参加に加入
Eurofins グループのマテリアルアナリシ範囲のスサービスを展開

2019年

ナノサイエンス株式会社からユーロフィンイーエージー株式会社に社名変更

2022年

本社を池袋オフィスから千代田オフィスに移転