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IVA/HR-IVA：封止パッケージのガス成分分析 概略IVA（Internal Vapor Analysis：内部蒸気/ガス分析）・HR-IVA（高分解能-IVA）は封止されたパッケージデバイス内の水分量（水蒸気）・主成分ガス・残留ガス成分の相対…
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