製品・技術
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3D-APT:三次元アトムプローブトモグラフィー分析3D-APT(3D-Atom probe tomography:三次元アトムプローブトモグラフィ)は高感度の三次元空間イメージングと組成分析を提供するナノスケールの分析手法です。3D-APT…
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RBS:ラザフォード後方散乱分析概略RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry:ラザフォード後方散乱分析)では、He等の軽いイオンをMeV程度の高エネルギーに加速して固体に照射することで固体元素の原子核によ…
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TXRF分析概略TXRF(Total reflection x-ray fluorescence : 全反射蛍光X線分析)は半導体ウエハ表面の微量金属汚染の評価に用いています。洗浄など、製造製造工程でウエハ表面に付着した金属汚染の分析に有効です。…
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TEM/STEM-EDS/EELS:TEM/STEM-エネルギー分散型X線分光法/電子エネルギー損失分光法
TEM/STEM-EDS/EELS:分析概略TEM/STEMを用いた元素分析です。EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy:ネルギー分散型X線分光法)は比較的重元素の測定に向いており、EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy:… -
SIMS分析概略SIMS(Secondary ion mass spectrometry : 二次イオン質量分析法)は極低濃度のドーパントや不純物を検出する分析手法です。試料表面を一次イオンでスパッタし、スパッタによって放出された二次イオンを…
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TEM/STEM分析概略TEM/STEM(Transmission Electron Microscope/Scanning transmission electron microscope:透過型電子顕微鏡/走査型透過型電子顕微鏡分析)は、電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法…
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- 3D-APT:三次元アトムプローブトモグラフィー分析 (2024年04月10日)
- RBS:ラザフォード後方散乱分析 (2024年04月04日)
- TXRF:全反射蛍光X線分析 (2024年02月21日)
- TEM/STEM-EDS/EELS:TEM/STEM-エネルギー分散型X線分光法/電子エネルギー損失分光法 (2024年02月19日)
- SIMS:二次イオン質量分析法 (2024年01月16日)