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FIB-SEM：集束イオンビーム分析概略FIB（Focused Ion Beam：集束イオンビーム）は微細に集束されたイオンビームを使用して試料の加工・イオン像の観察が行なえます。FIB-SEMは高解像度のFE-SEM（電界放出電子顕微鏡…
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