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IVA/HR-IVA：封止パッケージのガス成分分析

IVA HR-IVA 封止パッケージのガス成分分析 / 試験・分析・測定

IVA/HR-IVA：封止パッケージのガス成分分析概略

IVA（Internal Vapor Analysis：内部蒸気/ガス分析）・HR-IVA（高分解能-IVA）は封止されたパッケージデバイス内の水分量（水蒸気）・主成分ガス・残留ガス成分の相対濃度について、質量分析計を用いて定量分析します。
IVA/HR-IVAはMIL規格（MIL-STD-750/883）に準拠して測定を行います。
※本分析はONEIDA RESERACH SERVICES（ORS）社で実施します

対象分野

半導体
エレクトロニクス
自動車
航空宇宙

	IVA分析	HR-IVA（高感度IVA）分析
測定可能な元素	水蒸気・窒素・酸素・アルゴン・二酸化炭素・水素、ヘリウム・フッ化炭素・炭化水素（CH）および主要な有機物をppmレベルで検出可能　（質量範囲：2～150（AMU）
測定可能な内容積	0.01cc以上	1nl（=1x10-6cc）以上 ※1atmの窒素ガスを封入したパッケージで測定可能な内容積
質量分析計	四重極型（Q-pole）	飛行時間型（Time Of Flight [TOF]）
検出感度	水蒸気は100ppmv、その他のガス成分は10ppmv以下も検出可能
精度	水蒸気：±10%以内（@5,000ppmv）

対象試料の事例

半導体・電子デバイス
光デバイス
MEMS
照明
医療機器
プラスチックバック
ヒートパイプなど

用途事例

封止パッケージ内の水分量・封止ガス・残留ガスを分析

原理/特徴

IVAは封止パッケージの残留ガス分析（RGA）やMIL規格の内部ガス分析（Internal Gas Analysis）を発展させた分析技術です。

パッケージ試料にパンクチャーピンで穴を空け、内部水蒸気・ガス成分を質量分析を行います。

MIL規格（MIL-STD-750/883）に対応
プリベーク処理対応：100℃±5℃、16～24時間（MIL規格準拠時）
ガラス・Ni系合金（Kovarなど）は標準穴あけ対応
パッケージの蓋・壁が厚い場合は前処理対応可

試験事例

	熱サイクル試験後	熱サイクル試験前（リファレンス）
窒素	43.3 %v	43.8 %v
酸素	ND	ND
アルゴン	45%v	50.9%v
CO2	5%v	2.08%v
水蒸気	ND	ND
水素	5.2%v	1.43%v
メタン	1.6%v	1.81%v