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Kr85リーク試験:封止パッケージの気密性試験

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Kr85リーク試験 気密性試験  /  試験・分析・測定

Kr85リーク試験:封止パッケージの気密性試験 概略

Kr85リーク試験(The Krypton 85 Leak Testing)は封止パッケージの気密性試験です。極めて試験時間が短く、一般的なHeリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能になります(<10-12 atm cc /sec Air limits)。封止パッケージの気密性試験です。
※本分析はONEIDA RESERACH SERVICES(ORS)社で実施します

対象分野

  • 半導体
  • エレクトロニクス
  • 自動車
  • 航空宇宙

対象試料の事例

  • 半導体・電子デバイス
  • 医療移植片
  • ハイブリットデバイス
  • MEMS(Siベース)など
  • センサー

用途事例

  • 封止パッケージの気密性評価

原理/特徴

Kr85リーク試験はKr85(クリプトン85)を加圧して半導体デバイスのキャビティ内にトラップさせます。キャビティ内にトラップされた Kr85から放射される γ 線 を計測し、気密性を評価します。

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  • 短試験時間
  • Heリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能
    (<10-12 atm cc /sec Air limits)

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