製品・技術
Kr85リーク試験:封止パッケージの気密性試験 概略
Kr85リーク試験(The Krypton 85 Leak Testing)は封止パッケージの気密性試験です。極めて試験時間が短く、一般的なHeリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能になります(<10-12 atm cc /sec Air limits)。封止パッケージの気密性試験です。
※本分析はONEIDA RESERACH SERVICES(ORS)社で実施します
対象分野
- 半導体
- エレクトロニクス
- 自動車
- 航空宇宙
対象試料の事例
- 半導体・電子デバイス
- 医療移植片
- ハイブリットデバイス
- MEMS(Siベース)など
- センサー
用途事例
- 封止パッケージの気密性評価
原理/特徴
Kr85リーク試験はKr85(クリプトン85)を加圧して半導体デバイスのキャビティ内にトラップさせます。キャビティ内にトラップされた Kr85から放射される γ 線 を計測し、気密性を評価します。
- 短試験時間
- Heリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能
(<10-12 atm cc /sec Air limits)
関連のある分析手法
- サイト内検索
- 新着ページ
-
- SEM-CL:カソードルミネッセンス分析 (2024年07月26日)
- TEM-EDS/EELS:透過型電子顕微鏡・元素分析 (2024年07月22日)
- PCOR-SIMS:Point by point Corrected 二次イオン質量分析法 (2024年07月17日)
- FIB-SEM:集束イオンビーム分析 (2024年07月09日)
- 振動試験(対応規格:JIS C60068-2-6, JIS Z0200/232, ASTM D4169ほか) (2024年05月30日)