製品・技術
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SEM/断面SEM分析概略SEM(Scanning Electron Microscope:走査型電子顕微鏡)では表面の凹凸像・組成コントラスト像を取得することができます。また、FIB-SEMやイオンミリング装置で試料の断面加工を行い、SEMで微細…
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グロー放電質量分析(GDMS)分析概略GDMS(Glow Discharge Mass Spectrometry:グロー放電質量分析) は微量不純物(ppm-ppb wt)の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分*を除くほとんどの元素を…
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