製品・技術

• TEM/STEM-EDS/EELS：TEM/STEM-エネルギー分散型X線分光法/電子エネルギー損失分光法

  透過型電子顕微鏡分析 TEM/STEM  /  試験・分析・測定
  
  TEM/STEM-EDS/EELS：分析概略TEM/STEMを用いた元素分析です。EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy：ネルギー分散型X線分光法）は比較的重元素の測定に向いており、EELS（Electron Energy Loss Spectroscopy：…
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• SIMS：二次イオン質量分析法

  透過型電子顕微鏡分析 TEM/STEM  /  試験・分析・測定
  
  SIMS分析概略SIMS（Secondary ion mass spectrometry : 二次イオン質量分析法）は極低濃度のドーパントや不純物を検出する分析手法です。試料表面を一次イオンでスパッタし、スパッタによって放出された二次イオンを…
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• TEM/STEM：透過型電子顕微鏡分析

  透過型電子顕微鏡分析 TEM/STEM  /  試験・分析・測定
  
  TEM/STEM分析概略TEM/STEM（Transmission Electron Microscope/Scanning transmission electron microscope：透過型電子顕微鏡/走査型透過型電子顕微鏡分析）は、電子ビームを使用してサンプルを画像化する分析手法…
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• SEM/断面SEM：走査電子顕微鏡分析

  SEM 断面SEM 走査電子顕微鏡分析  /  試験・分析・測定
  
  SEM/断面SEM分析概略SEM（Scanning Electron Microscope：走査型電子顕微鏡）では表面の凹凸像・組成コントラスト像を取得することができます。また、FIB-SEMやイオンミリング装置で試料の断面加工を行い、SEMで微細…
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• グロー放電質量分析（GDMS）

  グロー放電質量分析 GDMS  /  試験・分析・測定
  
  グロー放電質量分析（GDMS）分析概略GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry：グロー放電質量分析） は微量不純物（ppm-ppb wt）の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分*を除くほとんどの元素を…
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