12/4 湿式洗浄技術の基礎と洗浄プロセス最適化の総合知識

湿式洗浄技術の基礎と洗浄プロセス最適化の総合知識

～湿式洗浄のメカニズムの理解、理論＆実践と洗浄品質向上、洗浄不良対策～

講師

エステックC合同会社　代表　鈴木 克己　氏

■略歴
横浜国立大学工学部を卒業後、二輪車メーカー材料研究部門を経て諏訪精工舎（現セイコーエプソン）に入社。その後35年間、多くの製品、デバイスの生産技術開発、量産化に携わった。その際、「洗浄」に関わる課題に個々対応する中で実践的な「洗浄技術」を構築するとともに、社内技術部門や企業大学での洗浄技術の教育活動、OJTを通じてそれらを根付かせた。2019年に同社を退職後、生産技術コンサルティングのエステックC合同会社を設立、洗浄技術をベースとした企業の技術支援活動を行っている。

■専門
洗浄技術 薄膜技術

セミナー趣旨

本セミナーでは、湿式洗浄のメカニズムを理解するとともに、それを応用して実際の洗浄品質向上に繋げられるようになることを目的としています。
　まず「工業洗浄の概況」では、工業全般においての汚れとそれに対してどのような洗浄液を用いているのかを説明します。工業洗浄の全体像をイメージするのに役立ちます。次に湿式洗浄の基本である「５つの基本工程と３つの分離メカニズム」を説明します。洗浄工程を考える時の標準になるものです。洗浄品質が良くない時はこの基本工程のどれかに問題があることになります。また「水系、準水系、非水系洗浄液」について、単に洗浄液種類の羅列ではなく、汚れに対しての洗浄液の使い分け方法を説明いたします。また「超音波洗浄」とはそもそもなぜ必要なのか、なぜその周波数で洗浄するのか等、メカニズムを説明いたします。超音波洗浄では使う洗浄液の性質や製品形状で洗浄性が変わることがあるので注意が必要です。「洗浄不良と対策」では、実際にあった洗浄不良の原因と対策例、対処方法の基本を説明します。「高品質洗浄への取り組み」では、上述の洗浄メカニズムをどのように実洗浄で応用するのかを説明いたします。貴社の製品・材料の表面張力データの取得方法や、それを用いた汚れの分離エネルギー計算、DLVO再付着防止シミュレーション（エクセルソフトは事前配布します）、およびハンセン溶解度パラメーターを用いた洗浄液の選定を説明します。また最後にこれらの洗浄技術が半導体洗浄まで応用できることを示します。

セミナー講演内容

1．工業洗浄の概況
　1.1　工業用洗浄剤と使用状況
　1.2　各産業分野での洗浄工程例

2．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1　５つの基本工程と３つの分離メカニズム
　　　濡れ、分離、再付着防止・分散、排出（リンス）、乾燥
　2.2　水系洗浄
　　2.2.1　洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論による汚れ再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング剥離
　　2.2.2　排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3　乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1　洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による洗浄溶剤選定
　　2.3.2　排出（リンス）
　　2.3.3　乾燥、除電
　2.4　洗浄液の選定方法
　2.5　市販洗浄液選定方法の例

3．湿式洗浄装置、治具
　3.1　洗浄装置
　　3.1.1　バッチ式装置の構成
　　3.1.2　装置検討時の注意点
　3.1　超音波（メガソニック）
　　3.1.1　超音波洗浄メカニズム
　　3.1.2　周波数と槽深さの関係
　　3.1.3　異物大きさと周波数の目安
3.2　その他の機械力印加洗浄
　　　　スクラブ、二流体/蒸気二流体シャワー、ジェットスプレー、アイスジェット等
　3.3　洗浄装置の選定方法
　3.4　治具　　　　
　　3.4.1　治具の種類
　　3.4.2　使用時の注意点（超音波、乾燥等）

4．洗浄不良と対策
　4.1　洗浄液選定起因の不良
　4.2　炭化水素洗浄液管理起因の不良
　4.3　アルカリ洗浄液管理起因の不良
　4.4　同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　4.5　汚れの変化（加工油変質）による洗浄不良
　4.6　純水バクテリア起因の不良
　4.7　超音波ダメージ起因の不良
　4.8　温水引上げ乾燥起因の不良
　4.9　洗浄トラブル発生時の陥りがちな行動、正しい行動

5．高品質洗浄への取り組み
　5.1　洗浄基本工程の評価と改善（濡れ、分離、再付着防止について）
　　5.1.1　未知の材料の表面張力の求め方
　　5.1.2　剥離エネルギーの求め方
　　5.1.3　DLVO再付着防止シミュレーション（エクセルソフトは事前配布します）
　　5.1.4　ハンセン溶解度パラメーターによる洗浄液選定の例
　5.2　超音波洗浄の改善
　　5.2.1　溶存空気濃度
　　5.2.2　ウルトラファインバブル添加
　　5.2.3　超音波槽内の流れ
　5.3　半導体洗浄の紹介

質疑応答

※満席・日程終了などで参加が難しい場合は、下記「お問い合わせ」ボタンより再開催のリクエストを承っております